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浅谈反渗透技术在超纯水处理中应用 　　摘 要： 　　本文主要介绍了在超纯水处理系统中起重要作用的反渗透生产工艺技术，以及影响反渗透膜性能的主要因素和改善措施。并结合合肥彩虹蓝光科技有限公司的超纯水处理系统浅述了反渗透技术在超纯水处理中的应用。 　　关键词： 　　纯水处理，反渗透，回收率 　　正文： 　　与传统的纯水相比，超纯水不仅关注去除水中的溶解电解质，还关注于去除水中的有机物、溶解氧、细菌以及微小颗粒等杂质。随着半导体元器件的集成度的不断提升，生产的工艺步骤越来越多，元件被重复清洗，对作为清洗介质的超纯水的要求越来越高，如果超纯水品质达不到要求，其本身对器件就是一种污染，更谈不上清洗。作为制造超纯水的原水通常含有电解质、有机物、悬浮物、微生物以及溶解性气体等杂质，任何一种单一的处理手段都难以将所有的污染物全部去除，为了有效去除各种杂质，需要各种处理手段的综合运用。其中，反渗透膜处理可起到非常重要的作用。 　　1 反渗透的原理 　　利用超静压力泵高压渗透，使水分子和离子态的矿物质元素，通过一层逆渗透膜，而溶解在水中的绝大部分重金属、有机物以及细菌、病毒等，则无法透过 逆渗透膜被截留。以逆渗透原理，将水中所含不纯物质如热原、滤过性病毒、细菌、毒素、化合物、重金属（砷、钴、镉、汞等）有毒物质、金属、盐类、游离子等危害人体健康的物质，逆渗透膜使杂质与纯水隔离，并制造出纯净水。 　　RO膜采用先进的逆渗透进水系统，同时设计了预处理和后处理，对原水进行深度处理，脱盐率达到99%以上。 　　2 反渗透在超纯水处理中的应用 　　2.1 反渗透系统相关设备的选用 　　根据合肥彩虹蓝光科技有限公司的水质情况，为确保系统的长期平稳运行，我们选用了贝尔反渗透压力容器、陶氏反渗透膜、格兰富高压水泵和进口水质监测仪表，以及其他一些国产的设备。在运行控制方面，以反渗透系统为独立的单元进行自动运行控制，并安装了电导率报警、产水负压和高压泵高低压保护等装置。该系统还可以采取手动控制，以便系统的调试和维修。 　　2.2 预处理系统 　　反渗透膜对进水水质有一定的要求，由于水中所含的胶体、微生物、无机盐等悬浮物和各种溶解性物质在反渗透过程中随水的体积减少，其浓度随之增加 ， 导致悬浮物在膜上逐渐沉积，进而堵塞进水通道，增加阻力；而溶解性物质达到饱和浓度后会在膜表面结垢，阻止水分子的通过，使运行压力和压差增大，还将导致透盐率的升高。我们经过对合肥彩虹蓝光科技有限公司的水质进行分析后，采用了以石英砂和无烟煤为滤料的多介质过滤器和以活性炭为滤料的活性炭过滤器的预处理方式。并加装了NaClO和絮凝剂投加装置，来增加过滤效果，达到预处理后的SDI值〈5，满足RO进水要求。 　　2.3 反渗透系统 　　2.3.1 反渗透膜概况 　　合肥彩虹蓝光科技有限公司采用了两级两段法来设计，反渗透装置总共有四套，共使用了240支膜元件，分装在40个RO压力容器中，每个压力容器填装6支膜。每套产能54t/h， 其排列方式为一级两段式，比例为6/4，其中一段有6支膜壳，二段有4支膜壳。每套反渗透设计回收率为75%，每套进水流量为72m3/h，运行压力为10～15bar，水温为16～23℃，产水电导率〈10?s/cm. 　　2.3.2 反渗透膜性能的主要影响因素 　　反渗透的主要指标就是产水流量和脱盐率，它们又受进水水质条件和运行参数的影响，运行参数主要包括进水压力和回收率等，在反渗透装置运行过程中发现主要有以下因素影响其性能。 　　（1）膜被污染及侵蚀。 当进水通过膜过滤时，进水中的悬浮性固体、胶体和可溶性高分子物会因被浓缩而聚集在膜的表面，使膜受到污染。此外，在膜界面上被浓缩了的进水中含有的微生物会因新陈代谢而在膜表面产生一种絮状粘液，从而导致膜的侵蚀。 　　（2）膜的浓差极化。 在分离过程中，由于水的不断透过，膜界面附近溶质的浓度一般都高于主体溶液中溶质的浓度，从而行成了膜的浓差极化，严重时，溶质还会以固体形式析出。浓差极化容易导致膜通量或分离率的下降。 　　（3）膜本身的恶化。 膜本身的恶化包括膜的化学变化和膜形态结构的变化。膜化学变化主要是由于膜材料中含有一些容易水解的化学基团，在进水的温度、PH值等因素的影响下发生水解、氧化或降解，从而改变了膜的性能。 　　2.3.3 改善反渗透膜性能的措施 　　（1）控制进水的温度 　　任何一种膜材料都有一个适宜的使用温度范围。一般在规定的范围内，提高进水的温度有利于提高膜的透水速度，但是超过了膜材料最高允许的使用温度，膜本身会加快水解速度，从而造成膜结构不可逆变化。此外，较高的水温还会加速细胞的繁殖，使膜材料更容易受到细菌侵蚀。因此，当进水超过最高允许使用温度时，要采取降温措施，但当进水温