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浅谈温度测量发展现状 　　摘要 温度测量是工业、农业、国防和科研等部门最普遍的测量项目。它在工农业生产、现代科学研究及高新技术开发过程中也是一个极其普遍而重要的测量参数。本文就温度测量的发展现状进行了深入的探讨,具有一定的参考价值。 　　关键词 温度测量;发展现状;薄膜温度传感器 　　中图分类号TB942 文献标识码A 文章编号 1674-6708(2010)23-0116-02 　　 　　0 引言 　　温度是表征物体冷热程度的物理量,是国际单位制中7个基本物理量之一,它与人类生活、工农业生产和科学研究有着密切关系。随着科学技术水平的不断提高,温度测量技术也得到了不断的发展。 　　1 温标的发展 　　在生产和科学研究中,为了便于测量结果准确一致,需要给物体冷热程度以定量的描述。因此,有必要建立适当的标尺来衡量物体的冷热程度,以便科学地描述物体各种性能随温度变化的关系。温标就是温度的数值表示方法,它是借助于随温度变化而变化的物理量来定义温度数值的。各种各样温度计的数值都是由温标来决定的。所以可以说温标就是温度的标尺。温标是表示温度数值的一套规则,它明确了温度的单位。温度测量离不开温标的概念,温标是温度测量中的参照标准。随着社会生产及科学技术的进步,温标的复现也在不断地发展。大约每20年对温标作一次较大的修改或更新。1990年国际温标是根据第18届国际计量大会第7号决议的要求,由第77届国际计量委员会于1989年会议通过的。 　　本世纪初国际权度局制定的“标准温标”范围从0℃~100℃,其复现性为0.02℃,随着科学技术的发展,标准温标的复现精度大幅提高,前苏联计量科学研究院在0℃~400℃范围内温标定点精度达0.0005℃,美国标准局水三相点的温度复现性达0.0001℃。 　　2 温度测量的成果 　　在温度测量方面各国均取得了许多可喜的成果,其中前苏联的压电石英频率温度计分辨能力可达0.0001℃,理论上可达0.00001℃,而且在-40℃~230℃范围内具有温度与频率的线性特性;日本利用所谓石英温度频率转换器-80℃~200℃的温度范围,最大分辨率达0.0001℃;美国标准局研制的电阻温度计25欧标准铂电阻温度计,电桥分辨0.00002℃;我国生产的石英温度传感器分辨率达到0.0001℃,误差在0.05℃以内,中国航天工业总公司702所研制的5901(STP-1000)型粘贴式测温片,其静态测温精度为0.5%,快速响应时间小于0.013s。 　　3 温度测量技术近年来的发展重点 　　传统的热电偶、热电阻测温方法以其技术成熟、结构简单、使用方便等特点,在未来温度测量领域中,依然能够广泛使用。随着新材料、新工艺以及一些新技术的发展,其应用范围更加拓展。 　　1)薄膜温度传感器 　　在传感器结构改进方面,出现了薄膜温度传感器,它是随着薄膜技术的成熟而发展起来的新型微传感器,其敏感元件为微米级的薄膜,具有体积小、热扰动小、热动态响应时间短、灵敏度高、便于集成和安装的特点,并且具有耐磨、耐压、耐热冲击和抗剥离的优良性能,特别适合于微尺度或小空间温度测量、表面温度的测量等场合。近年来发展的陶瓷薄膜热电偶,可以测量更高的温度,克服了金属薄膜热电偶的一些催化效应和冶金效应等缺点,在高温表面温度测量领域应用更为广泛。 　　2)热电偶材料性能的提高 　　在热电偶丝材料方面,一些类型的热电偶性能得到了提高,并出现了一些新型热电偶类型。 　　(1)N型热电偶越来越受到重视。 　　与K型热电偶相比,N型热电偶的高温稳定性与使用寿命均明显提高。目前国外N型热电偶得到了广泛的应用,而国内应用仍旧不是很普遍,但随着对加工产品质量控制要求的提高,N型热电偶使用将会越来越多。 　　(2)钨铼热电偶抗氧化技术得到了发展,拓宽了其应用领域。主要是采用热电偶丝材镀膜或采用高致密保护套管隔绝等技术,可以延长钨铼热电偶在氧化气氛下的使用时间,使之不局限在还原条件下使用,可在一定程度上取代铂铑等贵金属热电偶。 　　(3)一些非标准分度的金属、非金属热电偶正在研制并逐步得到应用。为了提高温度测量上限,一些非标准分度的铂铑、铱铑等贵金属热电偶已经在工程上得到应用。另外,一些非金属热电偶材料得到了人们的重视,其特点有:①热电动势和微分电势大;②熔点高,测温上限也高;③价格低;④选用合适的非金属材料,可制成抗氧化或抗碳化的热电偶,用于恶劣条件下温度的测量。其缺点是复现性和机械性能差。目前,取得进展的非金属热电偶有C-TiC (ZrB2、NbC、SiC)、SiC-SiC、ZrB2(NbC)-ZrC、MoSi2-WSi2以及B4C-C等。 　　3)温度传感器保护套管材料 　　保护套管材料在温度测量中对敏感元件起着保护作用,对其测量准确度和