膜片式真空泵的抽气性能计算与测试分析-OpenRepositoryof.PDFVIP

( ) 华南理工大学学报 自然科学版 43 8 Vol． 43 No ． 8 第 卷第 期 Journal of South China University of Technology 2015 8 (Natural Science Edition) August 2015 年 月 文章编号:1000-565X (2015)08-0055-07 膜片式真空泵的抽气性能计算与测试分析* 1 1 1 2 2 上官文斌 张鹏 郭一鸣 刘宏慈 蒋开洪 (1．