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高性能MEMS电容压力传感器设计和其热分析.PDFVIP

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  • 2018-09-17 发布于湖北
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高性能MEMS电容压力传感器设计和其热分析.PDF

    第 卷 第 期 光学 精密工程 １８ ５ 　 Ｖｏｌ．１８ Ｎｏ．５ 　 　 　　 　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　 　　　 　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１０ ５ Ｍａ ２０１０ 　 　 　

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