溅射参数对单层AZO和多层AZOCuAZO薄膜性能的影响研究（毕业学术论文设计）.docVIP

目 录 PAGE \* MERGEFORMAT 2 吉首大学 ? 硕 士 学 位 论 文 溅射参数对单层AZO和多层AZO/Cu/AZO薄膜性能的影响研究 ?? ? ?? 二0一二 年 五 月 分类号 密 级 公 开 U D C 单位代码 ? 吉首大学? 硕 士 学 位 论 文?? 溅射参数对单层AZO和多层AZO/Cu/AZO薄膜性能的影响研究 Property Research AZO and AZO/Cu/AZO Thin Films Prepared by Radio-frequency Magnetron Sputtering 研究生姓名 指 导 教 师 教授 学 科 专 业 凝聚态物理专业 研 究 方 向 薄膜器件研究 提交论文日期 2012年4月10日 论文答辩日期2012年 月 日 答辩委员会主席 论文评阅人 二0一二年五月 目 录 TOC \o 1-3 \h \z \u HYPERLINK \l _Toc321985854 摘 要 PAGEREF _Toc321985854 \h 6 HYPERLINK \l _Toc321985855 Abstract PAGEREF _Toc321985855 \h 7 HYPERLINK \l _Toc321985856 第一章 绪 论 PAGEREF _Toc321985856 \h 1 HYPERLINK \l _Toc321985857 1.1引言 PAGEREF _Toc321985857 \h 1 HYPERLINK \l _Toc321985858 1.2 氧化锌的基本性质 PAGEREF _Toc321985858 \h 1 HYPERLINK \l _Toc321985859 1.2.1 ZnO的晶体结构 PAGEREF _Toc321985859 \h 2 HYPERLINK \l _Toc321985860 1.2.2 ZnO的电学性质和光学特性 PAGEREF _Toc321985860 \h 3 HYPERLINK \l _Toc321985861 1.2.3 ZnO的能带结构 PAGEREF _Toc321985861 \h 3 HYPERLINK \l _Toc321985862 1.3 ZnO的应用 PAGEREF _Toc321985862 \h 3 HYPERLINK \l _Toc321985863 1.3.1透明导电薄膜 PAGEREF _Toc321985863 \h 3 HYPERLINK \l _Toc321985864 1.3.2发光器件 PAGEREF _Toc321985864 \h 3 HYPERLINK \l _Toc321985865 1.3.3紫外探测管 PAGEREF _Toc321985865 \h 3 HYPERLINK \l _Toc321985866 1.4 AZO/Cu/AZO多层透明导电薄膜的研究 PAGEREF _Toc321985866 \h 4 HYPERLINK \l _Toc321985867 1.4.1 TCO薄膜的种类 PAGEREF _Toc321985867 \h 4 HYPERLINK \l _Toc321985868 1.4.2 AZO/Cu/AZO多层透明导电薄膜的用途 PAGEREF _Toc321985868 \h 4 HYPERLINK \l _Toc321985869 1.5 本文主要研究目的和内容 PAGEREF _Toc321985869 \h 4 HYPERLINK \l _Toc321985870 第二章 透明导电薄膜的制备和表征手段 PAGEREF _Toc321985870 \h 5 HYPERLINK \l _Toc321985871 2.1 主要制备技术 PAGEREF _Toc321985871 \h 5 HYPERLINK \l _Toc321985872 2.1.1 磁控溅射技术 PAGEREF _Toc321985872 \h 5 HYPERLINK \l _Toc321985873 2.1.2 真空蒸发技术 PAGEREF _Toc321985873 \h 7 HYPERLINK