机械测试方与微机电系统.ppt

微尺度效应 微系统中气体的流动模式可根据Knudsen数的大小划分为三个区域： Kn10 —— 流动为自由分子流动或无碰撞流动 Kn0.01 —— 流动为连续流 可采用连续介质流体力学理论来分析 0.01Kn10 —— 流动为过渡态流 流动必须考虑为稀薄气体流，而不是连续介质 MEMS构件中气体流动的Knudsen数为0.03左右必须考虑稀薄气体效应和速度边界滑移 一阶速度滑移边界条件： 微尺度效应 为计入稀薄气体效应，引入了有效粘度系数： 相对流量系数用于描述在狭小间隙内稀薄气体的流动，可从线性Boltzmann方程推导得到： 纵向谐振挤压空气阻尼模型 纵向谐振挤压空气阻尼模型 作如下假设： 运动中两微平面保持相互平行 平板沿垂直表面方向进行运动 运动中两微平面间压力变化小 于环境压力 流体Reynolds方程： 计入稀薄气体作用 修正Reynolds方程： 微谐振器动力学模型 横向振动微谐振器结构图 弹簧—质量—阻尼系统 微谐振器动力学模型 微谐振器动力学方程 其中，有效质量 mp为谐振器振动板的主干质量，mf为活动叉指质量，mb为弹性梁质量，mt为支撑架质量 弹性梁弹性系数 微谐振器动力学模型