晶圆制程流程图EnduraPVD系统.PDFVIP

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  • 2018-12-13 发布于天津
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晶圆制程流程图EnduraPVD系统.PDF

晶圓製程流程圖 材料 IC生產廠房 化學機 介電質沈積 測試 金屬化 械研磨 晶圓 加熱製程 離子佈值 蝕刻與光 封裝 光阻剝除 阻剝除 光罩 微影製程 最終測試 設計 1 Endura® PVD 系統 PVD 鈀材 PVD

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