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- 2018-12-13 发布于天津
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晶圆制程流程图EnduraPVD系统.PDF
晶圓製程流程圖
材料 IC生產廠房
化學機 介電質沈積 測試
金屬化
械研磨
晶圓
加熱製程 離子佈值 蝕刻與光 封裝
光阻剝除 阻剝除
光罩
微影製程 最終測試
設計
1
Endura® PVD 系統
PVD
鈀材
PVD
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