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研究生论坛
postgraduate Forum
国内微型器件装配技术的现状与应用
段瑞玲 李玉和 李庆祥
清华大学精密仪器及机械学系 北京
( 1 100084)
摘要 微机电系统 以飞快的速度发展成为一个集微型机械 微传感器 微能源 微致动器 微
! (MEMS
控制器 微执行器 信号处理和智能控制于一体的新兴研究领域 微机电系统结构的复杂性促进了微装配技
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术的蓬勃发展 吸引了大批国内外研究人员对其进行广泛研究 本文首先分析了微器件装配技术对微机电系
1 0
统的重要性及其产生的深远影响 然后介绍了近年来国内微装配技术的发展现状和参与微装配项目研发的研
1
究单位的一些有应用价值的研究成果1 最后阐述了微装配系统的发展趋势0
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关 键 词 微装配 微机电系统 微操作
中图分类号# TN405
Current Status and Applications of Micro-assembly Technology
DUAN Rui-iing LI Yu-he LI Oing-xiang
0Department of Precision Instrument and Mechanoiogy, Tsinghua University, Beijing 100084, China)
Abstract: Aiong with the deveiopment of MEMS, micro-assembiy technoiogy is deveioping rapidiy in recent years, a
iarge number of researchers of the worid are graduaiiy reaiizing the great significance of the study of micro-assembiy
and micro manipuiation technoiogy. The significance of studying micro-assembiy and its far infiuence on MEMS are
anaiized, then the current status in the deveiopment of micro-assembiy and some important research resuits from
severai research institutions participating in micro-assembiy are introduced. Finaiiy, some future prospects of micro-
assembiy are presented.
Keywords: Micro-assembiy 9MEMS (Micro-Eiectro- Mechanicai System) 9 micro manipuiation
智能控制于一体的新兴研究领域 按外形尺寸大小
L 引 言 0
自 世纪 年
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