立方氮化硼薄膜的光学带隙！.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 :% !$ #$$’ !$ ， ， ， =6A 9:% /6 9 !$ [,G6E41 #$$’ （ ） !$$$-#I$U#$$’U:% !$ U!-$: HNXH QYZ*RNH *R/RNH !#$$’ NL+7 9 QLP5 9 *6, 9 ############################################################### 立方氮化硼薄膜的光学带隙! ） ） ） ） ） ! ! ! ! # 邓金祥 汪旭洋 姚 倩 周 涛 张晓康 !）（北京工业大学应用数理学院，北京 !$$$## ） # ）（兰州大学物理学院，兰州 %$$$$ ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） #$$’ # ( #$$’ ( ! 用射频溅射法在 型 （ ）衬底上沉积立方氮化硼（ ）薄膜，薄膜的成分由傅里叶变换红外谱标识，用紫 ) *+ !$$ ,-./ 外 可见分光光度计测量了 薄膜的反射光谱，利用 （ ）关系从反射谱计算出 薄膜的光吸 - ,-./ 0-0 0123415-0167+78 ,-./ 收系数，进而确定 薄膜的光学带隙 对于立方相含量为 的 薄膜，光学带隙为 ,-./ 9 :: ;( ,-./ : ;’ 4= 9 关键词：立方氮化硼薄膜，光学带隙， 关系 0-0 ： ， !## %’:0 %’:$? ［，］ 光学性质，通常利用反射谱和透射谱! # ，本文则仅 从反射谱利用 （ ）关系计算出了 !; 引 言 0-0 0123415-0167+78 薄膜的光吸收系数，进而求出其光学带隙 用反 ,-./