电子束流探测-浙江大学室与设备管理处.DOCVIP

PAGE 第PAGE 5页 编号： 编号： 浙江大学 购置大型仪器设备可行性论证 与审批报告 仪器设备名称 电子束流探测、收集及控制系统 申 请 单 位 光电系 学院(系) 先进纳米光子学研究所 实验室（所） 申 请 人 赵鼎 项 目 负 责 人 仇旻 经 费 来 源 985 经费主管部门 申 请 日 期 201 实验室与设备管理处制 仪器设备中文名称 电子束流探测、收集及控制系统 仪器设备外文名称 Electron beam detection and control system 型号规格 SIGMA 申购数量 1套 单价估计 人民币(元)：（略）万 (折合)外币： 主要技术指标 包含二次电子探测器和In-lens电子探测器（置于镜筒内部）； 放大倍率：范围大于500, 000倍或者更宽（根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准）； 样品台：五轴全自动样品台，最小步进距离为90nm； 主要功能、应用范围 与共享学科 适配于场发射电子枪的电子束运载系统能够将电子枪的性能发挥至最佳。电子束运载系统集成了电子束流探测系统（In-lens SE探测器和ET-SE探测器）、带有操纵杆控制的5轴电动笛卡尔样品台以及数字图像记录系统，十分有利于表征微纳结构表面形貌，为实现高精度