等离子体浸没离子注入跟沉积技术的发展跟前沿问题.pdfVIP

第23卷 第 1期 中 国 表 面 工 程 V0l1．23 NO．1 2010年 2月 CHINA SURFACEENGINEERING Feburary 2010 doi：10．3969~．issn．1007—9289．2010．01．002 等离子体浸没离子注入与沉积技术的发展及前沿问题冰 王浪平，王小峰，汤宝寅 (哈尔滨工业大学 现代焊接生产技术国家重点实验室，哈尔滨 150001) 表面 注入