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非晶硅光伏电池表面高效光陷阱结构设计鄢-物理学报
物理学报摇 粤糟贼葬孕澡赠泽援杂蚤灶援摇 灾燥造援远园袁晕燥援愿 渊圆园员员冤摇 园愿愿愿园圆
非晶硅光伏电池表面高效光陷阱结构设计鄢
员冤圆冤覮 圆冤 猿冤 员冤 源冤
周摇 骏 摇 孙永堂 摇 孙铁囤 摇 刘摇 晓 摇 宋伟杰
员冤渊宁波大学光学与光电子技术研究所袁宁波摇 猿员缘圆员员冤
圆冤渊江苏大学光信息科学与技术系袁镇江摇 圆员圆园员猿冤
猿冤渊常州亿晶光电科技有限公司袁常州摇 圆员猿圆圆猿冤
源冤渊中国科学院宁波材料技术与工程研究所袁宁波摇 猿员缘圆园员冤
渊圆园员园年愿月员圆 日收到曰圆园员园年员圆月圆员 日收到修改稿冤
摇 摇 提出一种应用于非晶硅光伏电池表面的光陷阱结构袁该结构主要由衍射光栅尧低折射率 酝早云 膜层尧高折射率圆
在灶杂膜层及金属粤早反射镜组成援在标准测试条件渊粤酝员郾缘袁员园园皂宰辕糟皂圆和圆缘益冤下袁运用严格耦合波理论袁通过计
算源园园要员园园园灶皂波段内的员滋皂厚非晶硅光伏电池的吸收光子数加权平均孜粤酝员郾缘 袁优化光陷阱结构的设计参数援结
果表明院对于电池前表面减反射结构袁在衍射光栅周期为愿园园灶皂尧高度为员远园灶皂尧占空比为园郾远员圆缘尧酝早云圆 和在灶杂膜
层厚度分别为怨园和缘缘灶皂时袁孜粤酝员郾缘 达到苑源郾猿豫曰在电池背表面沉积在灶杂辕粤早膜层后袁孜粤酝员郾缘 增大到苑远郾怨缘豫援 因此袁
该光陷阱结构可以大幅度提高非晶硅光伏电池的光电转换效率援
关键词院光陷阱结构袁衍射光栅袁减反射膜袁非晶硅光伏电池
孕粤悦杂院愿愿援源园援躁躁袁源圆援圆缘援云曾袁愿员援园缘援郧糟袁愿苑援愿园援悦糟
伏电池表面制备周期为微米量级的衍射光栅减反
员郾 引 言 结构可以明显提高电池的量子效率咱怨暂援此外袁在电
池背表面采用衍射光栅与布拉格反射光栅等结构
晶硅光伏电池具有较高的转换效率袁制备技 反射透射光袁可以增加光在电池内的传播路径袁提
术成熟袁因而占有大部分的市场份额袁其缺点是目 高电池对光子的吸收咱员园袁员员暂援
前的成本较高援而最近发展起来的薄膜光伏电池 近年来袁随着光学微加工技术的巨大进步袁可
渊如非晶硅光伏电池和微晶硅光伏电池等冤由于制 以制备出多种亚微米结构的光学元件咱员圆袁员猿暂援对于亚
造用料少尧成本低袁日益受到人们的关注咱员要猿暂援但 微米光栅袁其周期小于入射光波长时袁改变光栅的
是袁由于薄膜光伏电池材料较薄并且在长波段光 结构参数可以有效地分配反射光和透射光的能
子吸收系数很小袁导致电池的转换效率较低援 因 量咱员源暂 袁但是其高透射的光谱范围较窄援对光伏电池
此袁在电池表面制备光学结构以增强电池对光子 而言袁需要在太阳光谱的较宽波段内实现光的高透
的吸收袁是提高薄膜光伏电池光电转换效率的一 射援为此袁我们结合亚微米光栅结构和多层折射率
种重要方法援通常袁人们在电池前表面制备减反膜 渐变膜层的优点袁设计一种由衍射光栅尧低折射率
结构以减少光的反射袁如单层减反膜咱源袁缘暂或多层减 酝早云圆 膜层和高折射率在灶杂膜层组成的光陷阱结构袁
反膜咱远暂援相对于单层减反膜袁采用折射率连续变化 通过研究光栅周期尧槽深尧占空比以及酝早云圆 膜层厚
的多层膜结构的优点是在较宽光谱范围内高透 度和在灶杂膜层厚度取值对光伏电池光子吸收的影
射咱苑暂 袁缺点是这种多层膜易破裂袁而且在制备过程 响袁在较大范围实现光的高透射援 同
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