（毕业学术论文设计）-基于热蒸发方法的硫系薄膜制备与光学性能研究.docVIP

l l l 编号： 　　　 本科毕业设计（论文） 题目：基于热蒸发方法的硫系薄膜制备与光学性能研究 Research prepared by thermal evaporation of the optical properties of chalcogenide thin films 学 院 信息科学与工程 专 业 多媒体信息处理 班 级 电信 学 号 姓　名 指导教师 职称　讲师　　 完成日期 l 摘　要 【摘要】硫系薄膜是硫系玻璃材料光学器件向集成化、小型化发展的一个重要研究方向。本文介绍了硫系薄膜的发展与应用及常见的制备方法，并选择热蒸发方法制备了Ge-Sb-Se组分的硫系薄膜。并对所得薄膜进行结构和性能测试包括：薄膜的透过光谱（分光光度计），薄膜组分（xps），薄膜结构（拉曼光谱）和薄膜厚度（台阶仪）等参数。结果表明热蒸发法制备Ge-Sb-Se薄膜具有良好的物理结构和光学特性，在集成光学器件方面很高的应用潜力。 【关键词】硫系玻璃，硫系薄膜；热蒸发法，光学特性，。 Abstract 【ABSTRACT】Chal