用于SNOMGaAs微探尖选择剥离.PDFVIP

用于SNOM的GaAs微探尖的选择剥离 梁秀萍 朱锦霞 许育波 胡礼中 大连理工大学物理与光电工程学院, 大连（116024） E-mail ：bdtlxp@ 摘要：介绍一种用于扫描近场光学显微镜（SNOM）传感头的GaAs微探尖的选择剥离技术。通 过对GaAs微探尖/AlGaAs层/GaAs衬底结构中SiO 掩膜窗口大小的AlGaAs层的选择刻蚀，剥离 2 GaAs微探尖。扫描电子显微镜显示的结果表明，单个GaAs微探尖从GaAs衬底上剥离下来后， 表面光滑，无损伤。这种微探尖在扫描探针显微镜系统中同样具有一定的实用价值。 关键词：液相外延；微探尖；湿法刻蚀；扫描近场光学显微镜 PACC：0779；6150C 中图分类号：TN305 1 引言 用于纳米尺度探测、控制、加工的扫描探针显微镜(SPM)（包括扫描隧道显微镜、原子 力显微镜、光子扫描隧道显微镜、扫描近