脉冲激光加热薄膜微尺度热传递研究进展-物理学进展.PDF

第 24 卷 　第 2 期 物 　理 　学 　进 　展 Vol . 24 ,No . 2 　2004 年 6 月 PRO GR ESS IN PH YSICS J un . ,2004 文章编号 (2004) 020 15211 脉冲激光加热薄膜微尺度热传递研究进展 1 ,3 1 1 2 3 徐红玉 , 张元冲 , 宋亚勤 ,卢秉恒 ,陈殿云 ( 1. 西安交通大学机械结构强度与振动国家重点实验室 ,西安 　7 10049 ; 2 . 西安交通大学机械工程学院; 　3 . 河南科技大学建筑工程学院) 摘 　要 : 　短脉冲激光显微微加工因其具有制作高精度微结构的能力和其在现代微制作技 术中的应用 ,微尺度薄膜热传递的研究受到极大关注 ,近年来对薄膜结构高频加热的研究迅 猛发展 。本文对十年来薄膜微尺度热传递的相关研究进展做了简要评述 。 关键词 :