铜感应器操作手册sensor-manual.doc

沉铜感应器操作手册WCU310 2004-5-8 一简介: 该控制系统采用光电吸收原理检测溶液中的铜离子含量. 屏幕上的能量柱可以形象的显示铜离子含量的变化情况,同时,数字则可准确的显示当时的铜离子含量. 其控制面板如下: 显示屏如图: 操作过程中屏幕会显示以下信息: 1, Control Delay 30 (The number Count Down) 2, Sensor Error 3, Light Bulb out 4, No Sample 5, Pump Over 6, High/Low Alarm 7,Calibration time 8,Output on 9, Normal 二, 按键的设置 在控制面板上有四个功能键(ENTER, EXIT, NEXT 和 PREV.), 有转换键,分别以上,下,左,右方向的箭头代表. 通过PREV. 及 NEXT键可以选择需要修改的项目, 之后按ENTER键进入选定的项目,可以查看其设定. 进入后可以通过箭头变更项目及修改各参数. 三, 密码的设定 1, 进入该控制程序需要一定的权限, 避免不熟练的操作造成设定参数的混乱, 使得流程失控. 获得密码: 1995为原始设置(建议此密码只给相关操作人员) 2, 更改设置: 当参数需要调教时, 设备会要求输入Password. 按ENTER键进入所要更改的目录, 设备会要求输入密码, 屏幕显示0000,通过四个箭头可输入密码,按ENTER键进入. 四, 开机及关机 当打开电源开关时, 屏幕会延时30秒钟后显示数据, 此时不能进行任何操作, 待屏幕有数据显示后,方可进行感应器调教,参数设定等操作; 在停止使用时,直接关电源即可. 五, 感应器的设定及调教 通过密码后可以进行以下参数的设定: 调校记录(Calibration History), 测试方式(1 Point Calibration), 测试间隔(Days Between Calibration), 测试单位(Units Of Measure), 控制模式( Control Mode), 重新设定程序(New Sensor Set-Up). 首先, 通过箭头及功能键选择 Cu Mode , 之后在Electroless Copper及microetch Copper 两相之间选择Electroless Copper. 用PREV.键选择测试单位. 校正(1 Point Calibration): 按ENTER键进入测试程序. 将感应器放入工作液中, 显示屏会出现但前的药水浓度. 将该测试结果同化验室的分析结果做比较,同时根据分析结果调校显示数据.如若二者数据结果相差太大,则需重新校正. 单位设定(Conc. Unit): 按ENTER键进入画面,在g/l及oz/gal之间通过上下箭头选择g/l,之后用ENTER键确认.设备会提醒设置点被改变,之后所有的数据将以新的单位显示. 具体的操作如下图所示. 控制器自我检测( Self Test): 在进行自我检测过程时必须将感应器的连线与控制器分离, 按ENTER键进行测试,屏幕会显示 ” FAIL’’ 和 “PASS”, 当显示PASS时,则可进行下一步操作, 若显示FAIL则说明控制器本身出现问题, 需要进一步检测. 重新设定参数(New Sensor Set-Up): 通过按ENTER键进入New Sensor Set-Up, 画面会显示: ‘WARNING Chg Sensor Cal? N A, Water…XXXX.X 开始设定时首先会出现以上Water…XXXX.X. 此时, 须将感应器用清水冲洗干净, 并将其浸人DI. 水中. 当显示数据稳定时按ENTER键确认. B, Sample…XXXX.X 将感应器放入已知浓度的标准液中, 待其显示稳定后按ENTER键确认. *理想的标准溶液是取已知浓度的工作液, 但不建议在工作槽中进行校准, 因为有生产板在镀槽中时, 药水浓度本身在变化, 会对标定结果产生影响. C, 浓度的设定(Smpl Conc) 通过箭头键将测定浓度输入仪器, 此时画面值与分析结果一致, 按ENTER键确认. 输出信号1的设定( OutPut 1) 通过Output 1 的参数设定, 我们可以确定控制点, 偏差范围及加药时间等参数, 同时可以设定手动状态与自动状态之间的转换. 各种信号的含义如下: OFF, 表示输出信号关闭; Intrlck, 表示因为设置或信号的问题停止工作; Overrun, 表示添加泵超时工作而被终止. Total 1 用ENTER键锁定Timer/