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基于梯形算子的AFM驱动器非对称迟滞性校正-中国科学院沈阳
36 1 仪 器 仪 表 学 报 Vol. 36 No. 1
第 卷 第 期
2015 1 Chinese Journal of Scientific Instrument Jan． 2015
年 月
*
基于梯形算子的AFM 驱动器非对称迟滞性校正
1，2 1 1 1 1
， ， ， ，
王 栋 于 鹏 周 磊 刘 柱 董再励
(1． 中国科学院沈阳自动化研究所 沈阳 110016 ;2． 中国科学院大学 北京 100049)
: (AFM) (PZT) 。 ，PZT
摘 要 原子力显微镜 通常采用压电陶瓷 作为驱动器以实现纳米尺度的观测和操作 然而 自身的迟滞非线
AFM 。 Prandtl-Ishlinskii (PI) PZT
性会对 观测质量和操作精度产生很大影响 基于 模型的前馈控制方法可对 的迟滞非线性进行
， PI PZT 。 ， ，
补偿 但传统 模型无法消除 的非对称迟滞性的影响 针对这个问题 提出一种基于梯形算子的非对称迟滞模型 并可用
， 。AFM ，
系统辨识方法获取逆模型参数 该方法可有效实现具有非对称迟滞特性驱动器的前馈补偿控制 系统实验证明 该模型
， AFM 。
可有效减小非对称迟滞性导致的建模误差 基于该模型的前馈迟滞补偿控制可有效提高 的扫描成像质量
: PI ; ; ; ; ;
关键词 非对称 模型 梯形算子 原子力显微镜 压电陶瓷 迟滞性前馈校正 逆模型直接辨识
中图分类号:TH89 TP391 文献标识码:A 国家标准学科分类代码:460． 4025 510． 801
Asymmetric hysteresis calibration of
AFM actuator based on keystone operator
1，2 1 1 1
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