现代加工技术-微细加工技术.pptVIP

（2）切削力 微切削时切削力的幅值虽然不大，但其单位切削力却极大。微细切削时，随着切削深度的增加切削力却在减小。 （3）切削温度 微细切削的温度是非常低的，这是由低的切削能量和金刚石刀具和工件的高导热性造成。由于加工尺度和刀具尺度的微小化，使得刀具上很小的温升就会导致刀杆的膨胀并引发加工精度的下降，切削温度通常被认为是决定刀具磨损率的主要因素。 7.6.2 微细切削 1、微细切削工艺 （1）刀具 微细车削一般采用金刚石刀具。金刚石车刀一般是把金刚石固定在小刀头上，小刀头用螺钉或压板固定在车刀刀杆上。 不重磨金刚石刀具形状 （2）切削速度 实际选择的切削速度常根据所用机床的动态特性和工艺系统的动态特性选取，即选择振动最小的转速。因为在该转速时表面粗糙度值最小，加工质量最高。 （3）进给量和修光刃 为使加工表面粗糙度降低，微细车削时都采用很小的进给量，并且刀具带修光刃。修光刃可以减小加工表面粗糙度值。实验表明，在微细车削时修光刃的长度一般取（0.05~0.10）mm较为适宜 。 （4）刀刃锋锐度 刀刃锋锐度对加工表面质量有很大影响，刀刃锋锐度可用刀具刃口半径ρ来表征。ρ是微细和超微细切削加工中的一个关键技术参数。ρ值一般采用扫描电镜在放大（20 000~30 000）倍时测量。目前常用的金刚石刀具的刀刃锋锐度ρ=0.2um-0.3um。 （5）积屑瘤与工作液 积屑瘤的产生对加工表面粗糙度影响极大。要减小表面粗糙度值，应消除或减小积屑瘤，使用合理的工作液可达到此目的。 金刚石刀具及其加工的微细轴 微细钻削的微孔 2、微细切削机床 日本通产省工业技术院机械工程实验室MEL于1996年开发了世界上第一台微型化的机床—微型车床。 微型车床 下图所示的一种微细车床系统（日本金沢大学研制），由微细车床、控制单元、光学显微装置和监视器组成。 一种微细车床系统 放在手提箱里的机械厂 7.6.3 微细铣削 1、微细铣削刀具 微细铣刀的制作技术是微细铣削的难点之一。采用离子束加工技术制作微细铣刀是一种可行的方法。在真空条件下，将离子源产生的离子束经加速聚焦，形成高速离子束流，轰击刀具材料进行加工。它是靠离子撞击产生的变形、破坏等方式进行微机械加工。 离子束加工出的2刃、4刃、6刃微细端铣刀 2、微细铣床 FANUC公司和有关大学合作研制的车床型超精密铣床，在世界上首例用切削方法实现了自由曲面微细加工，而且可利用CAD/CAM技术实现三维数控加工，具有生产率高、加工精度高的特点。 车床型微细铣床 微细铣削加工的头像 7.7 薄膜气相沉积技术 7.7.1 物理气相沉积 物理气相沉积（Physical Vapor Deposition，PVD）指的是利用某种物理过程，如物质的热蒸发或在受到粒子束轰击时物质表面原子的溅射等现象，实现物质从源物质到薄膜的原子可控的转移过程。主要工艺方法有：蒸发法、溅射法、离子镀、反应蒸发沉积等，其中最为基本的两种方法是蒸发法和溅射法。 1、蒸发法 蒸发法是指固态或液态材料被加热到足够高温度时会发生汽化，由此产生的蒸汽在较冷的基体上沉积下来就形成了固态薄膜。 蒸发镀膜过程可以分三个阶段： ①从蒸发源开始的热蒸发 ②蒸发料原子或分子从蒸发源向基片转移 ③蒸发料原子或分子淀积在基片上 真空蒸发法 加工原理：在蒸发过程中，将欲沉积在基底上的物质放在坩埚内加热到熔融温度以上，由于热能的作用，一些原子通过蒸发沉积在基底上，在基底上形成薄而均匀的薄膜。 基层 坩埚 加热源 2、溅射法 溅射法是利用带有电荷的离子在电场中加速后具有一定动能的特点，将离子引向欲被溅射的靶电极。在离子能量合适的情况下，入射的离子将在与靶表面的原子的碰撞过程中使后者溅射出来。这些被溅射出来的原子将带有一定的动能，并且会沿着一定的方向射向衬底，从而实现在衬底上薄膜的沉积。 直流溅射沉积装置的示意图