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散斑干涉条纹测量系统的设计 　　摘要： 为了测量散斑干涉条纹，从而计算出被测物体的微位移，提出了一种基于AT89S52芯片的解决方案。运用单片机驱动步进电机，精准控制光敏传感器的移动，利用传感器判定暗条纹中心，结合软件进行实时处理，获得再现干涉条纹间距。实验结果表明，该设计方案对散斑位移的测量精度可达0.001 mm。 　　关键词： 微位移测量； 相干光学； 单片微型计算机； 步进电机； 光敏传感器 　　引言传统的散斑照相法通过摄取双曝光散斑图，然后再现散斑图像即杨氏条纹，并测量条纹间距，再利用测量光路的相关参数，可得出物体的面内微位移。该技术具有非接触、高精度的特点，在无损检测[1]、应变[23]、振动[4]和位移[5]等测量中获得了广泛应用。目前电子散斑的研究主要建立在数字图像处理基础上[69]，对CCD采样后的数字图像进行分析和计算，该技术省去了传统方法中干版显影、定影的化学湿处理过程，但测量精度依赖CCD技术指标和图像处理算法。运用单片微型计算机技术（简称MCU技术）和光敏传感器进行直接测量，测量方法简单，计算精度可达0.001 mm。1系统设计 　　1.1光学记录与再现系统散斑照相的光路如图1所示。激光经过扩束镜Lk扩束，均匀照射在试件毛玻璃S上，再经过成像透镜Lc，最终成像在全息底片H上。 　　当试件S被加载位移后，散斑图像将随着物体作相应运动。如果用同一干