Q_320507 LAS05-20165N电子级八氟环丁烷.pdf

Q/LAS 苏州金宏气体股份有限公司企业标准 Q/320507 LAS05—20 16 电子级八氟环丁烷 2016-02-01 发布 2016-02-01 实施 苏州金宏气体股份有限公司 发布 前 言 本标准是针对用工业级八氟环丁烷通过吸附纯化、精馏提纯生产的电子级八氟环丁烷 （99.999%的 电子工业用八氟环丁烷）产品。该产品是电子行业蚀刻气体。由于99.999%的产品在国内尚无国家和行 业标准，现根据标准化法的规定，以及企业的实际水平和国内外用户的要求，特制定本标准。 本标准编写执行GB/T1.1- 2000 和GB/T1.2-2002 规格。 本标准由苏州金宏气体股份有限公司提出。 本标准起草单位：苏州金宏气体股份有限公司。 本标准主要起草人： 许军洲、周宝军、李刚、魏入铎、庄坤华、