相移器平移误差与倾斜误差不敏感相移新算法.PDFVIP

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2018-11-16 发布于天津
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相移器平移误差与倾斜误差不敏感相移新算法.PDF

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相移器平移误差与倾斜误差不敏感相移新算法

82 Vol. 8, No. 2 2 0 0 0 4 OPTICS AND PRECISION ENGINEERING Apr . , 2000 1004-924 ( 2000) 02-0185-04 X 郭红卫, 陈明仪 ( 上海大学精密机械工程系, 上海嘉定　201800) : , , , , , : 相移干涉术; 相移误差; 最小二乘解; 迭代法 : O436. 1:A , , 1　引　　言 , , [ 1] , PZT , ; , 2　基本原理 , , 2. 1 , 1 - , Twyma Gree , PZT PZT , Carr , , , ( i, j ) ; . . [ 2] I n ( i,j ) = I 0 ( i,j ) C J Morga , n { 1 + r ( i,j ) cos[ ( i,j ) - ( i,j ) ] } ( 1) , , I 0 , r , , [ 3] - Katsuyuki Okada I Bok Ko g n n - [ 4, 5] Seu g Woo Kim n( i,j ) = ani + bnj + dn ( 2) , ( 2) , , , n n n a b i,j , d , ( 0, 0) , I n( i,j ) = I n ( i,j ) - I 1( i,j ) ( 3) , a1 = b1 = 0, d1 = 0 , , , [ 3- n( i,j ) = C( i,j ) [ cos( ( ani + bnj + dn ) - 1] + 5] S( i,j ) si ( ani + bnj + dn) ( 4) , C( i,j ) = I 0( i,j ) r( i,j ) cos [ ( i,j ) ] , , S ( i,j ) = I 0( i,j ) r( i,j ) si [( i,j )