二次配工程规范方案.doc

WORD文档可编辑 技术资料 专业分享 中緯積體電路(寧波)新建工程 氣體管線二次配工程規範 CONTENTS PAGES TOC \o 1-1 1. 目的 PAGEREF _To\h 3 2. 範圍 PAGEREF _To\h 3 3. 文件送審 PAGEREF _To\h 4 4. 施工說明 PAGEREF _To\h 4 5. 其他說明 PAGEREF _To\h 9 6. 驗收標準 PAGEREF _To\h 10 7. 保固期限 PAGEREF _To\h 12 目的 為使設備機台按照計劃順利裝機、運轉，且亦能維護Hook Up二次配管施工之品質及作業安全。本規範如有任何疑慮依業主及總顧問公司解釋為準。 範圍 製程設備氣體管線Hook-up工程材料採購及管路安裝；Hook-up範圍，GN2、PN2、PO2、CDA自主管預留閥至機台內部接點(含支管)，PH2、SiH4、SiH4/N2由氣體站氫氣純化器出口及SiH4、SiH4/N2氣瓶櫃出口接至機台(含VMB)，其他特殊氣體自位於氣體房或Subfab之氣瓶櫃/架至機台內部接點(含VM