电容式传感器位移特性实验报告.pdfVIP

实验四 电容式传感器的位移特性实验 一、 实验原理： 利用平板电容 C ＝εS/d 和其它结构的关系式通过相应的结构和测量电路可 以选择ε、S、d 中三个参数中，保持两个参数不变，而只改变其中一个参数，则 可以有测谷物干燥度（ε变）测微小位移（变d ）和测量液位（变S ）等多种电容 传感器。变面积型电容传感器中，平板结构对极距特别敏感，测量精度受到影响， 而圆柱形结构受极板径向变化的影响很小，且理论上具有很好的线性关系，（但 实际由于边缘效应的影响，会引起极板间的电场分布不均，导致非线性问题仍然 存在，且灵敏度下降，但比变极距型好得多。）成为实际中最常用的结构，其中 线位移单组式的电容量C 在忽略边缘效应时为： 2πεd C = ( ) ln r /r 2 1 式中 r 为外圆筒与内圆柱覆盖部分的长度；r 为外圆筒内半径和内圆柱外 2 1 半径。当两圆筒相对移动Δl 时，电容变化量ΔC 为： ( ) 2πεd 2πε − ∆ 2πε∆ ∆ ∆C = − = = 0 ( ) ( ) ( ) ln r /r ln r /r ln r /r 2 1 2 1 2 1 于是，可得其静态灵敏度为： ( ) ( ) ∆ 2πε + ∆ 2πε − ∆ 4πε = = [ − ]/∆ = ( ) ( ) ( ) ∆ ln r /r ln r /r ln r /r 2 1 2 1 2 1 可见灵敏度与r /r 有关，r 、r 越接近，灵敏度越高，虽然内外极筒原始 2 1 2 1 覆盖长度l 与灵敏度无关，但l 不可太小，否则边缘效应将影响到传感器的线性。 本实验为变面积式电容传感器，采用差动式圆柱形结构，因此可以很好的消 除极距变化对测量精度的影响，并且可以减小非线性误差和增加传感器的灵敏度。 二、 实验数据： 将电容传感器实验模板的输出端Vo 与数显单元Vi 相接（插入主控箱Vi 孔）， 然后调节Rw 到中间位置，接入±15V 电源，旋动测微头改变电容传感器动极板 的位置，每隔0.5mm 记下位移X 与输出电压值，如表1 所示。 表1 实验数据—传感器输出电压与位移 X/mm 0 0.5 1 1.5 2 2.5 3 3.5 4 4.5 5 5.5 U/mv -510 -511 -513 -514 -517 -522 -526 -530 -536 -540 -538 -540 X/mm 6 6.5 7 7.5 8