1绪论半导体材料-(精选·公开·课件).pptVIP

半导体材料 微电子学院 吴振宇 E-mail: wuzhenyu@xidian.edu.cn 教学计划 绪论 （1） 第一章 硅和锗的物理化学性质（1） 第二章 区熔提纯（2） 第三章 晶体生长（2） 第四章 硅的气相外延生长（2） 第五章 同质外延生长（3） 第六章 异质外延生长（3） 第七章 半导体材料分析技术(1) 考核 期末考试60%+平时成绩40% 开卷 平时成绩:四次作业 考试:10题简答题 第一章 绪论 半导体材料及其分类 半导体材料的发展和现状 半导体材料的应用 半导体材料及其分类 半导体材料：是指电阻率在107???cm～10－3??cm，介于金属和绝缘体之间的材料。具有以下性质：一般半导体材料的电阻率随温度的升高而迅速增大；杂质对半导体性质有着决定性的作用；光照可以引起半导体电学性质的变化。 半导体材料是制作晶体管、集成电路、电力电子器件、光电子器件的重要基础材料；支撑通信、计算机、信息家电与网络技术等电子信息产业的发展；半导体材料科学是半导体科学发展的物质基础。 半导体材料及其分类 按照不同角度进行半导体材料的分类。 按照化学组分：元素半导体、化合物半导体、固溶体半导体元素半导体有锗、硅、硒、硼、碲、锑等。50年代，锗在半导体中占主导地位，但锗半导体器件的耐高温和抗辐射性能较差，到60年代后期逐渐被硅材料取代。目前的集成电路大多数是用硅材料制造