压力检测电气压力计.pptVIP

Ⅱ、电气式压力计 电阻式 电容式 压电式 1.应变式电气压力传感器 应变式传感器是利用金属的电阻应变效应，将被测量转换为电量输出的一种传感器。 2)应变片的基本结构 金属应变片 半导体应变片 金属应变片 丝式 箔式 薄膜式 金属丝式应变片 电阻丝直径0.015~0.05mm 金属箔式应变片 箔式应变片是在绝缘基底上，将厚度为0.003～0.01mm电阻箔材，利用照相制版或光刻技术，制成各种需要的形状。 金属薄膜应变片 采用真空蒸发或真空沉积等方法在薄的绝缘基片上形成厚度在0.1微米以下的金属电阻材料薄膜的敏感栅，最后再加上保护层。 优点：应变灵敏系数大，允许电流密度大。 存在问题：温度稳定性差 4)测量电路应变式压力传感器原理图 电桥放大器 结论：应变片式压检测仪表具有较大的测量范围，被测压力可达几百MPa，并具有良好的动态性能，适用于快速变化的压力测量。但是，尽管测量电桥具有一定的温度补偿的作用，应变片式压力检测仪表仍有比较明显的温漂和时漂，因此，这种压力检测仪表较多地用于一般要求的动态压力检测，测量精度一般在0.5～1.0％左右。 3.电容式压力传感器 4.压电式压力传感器 DDZ-III型差压变送器 (1) 测量部分 (2) 杠杆系统 ① 主杠杆 ② 矢量机构 ③ 副杠杆 (3) 电磁反馈装置 四、 智能式变送器 四、压力计的选用与安装 1.压力仪表的选用： 类型选择 功能：显示、报警、记录、传送（数字、模拟） 介质条件：温度、腐蚀性、粘度、脏污程度、易燃易爆； 如：氨气表防腐，氧气表禁油。 现场环境条件：温度、震动、电磁场等。 量程与盘面大小 测量稳定压力Pmax ≤ 2/3量程(上限), Pmin≥1/3量程; 测量脉动压力Pmax ≤ 1/2量程; 测高压Pmax ≤ 3/5量程. 盘面大小应方便安装和观察。 精度等级 根据工艺要求所允许的最大测量误差确定。 2.压力计安装 常见压力传感器外形 * 1）电阻应变效应及工作原理 当金属或半导体在外力作用下发生机械变形时，其电阻值发生变化----这种现象称电阻应变效应 取一根长度为L，截面积为S，电阻率为 的金属丝，未受力时其电阻R为 （3 -1） 当电阻丝受到拉力F作用时, 将伸长ΔL, 横截面积相应减小ΔS, 电阻率将因晶格发生变形等因素而改变Δρ, 故引起电阻值相对变化量为 式中ΔL/L是长度相对变化量, 用应变ε表示 ΔS/S为圆形电阻丝的截面积相对变化量, 即 （3 -2） （3 -3） （3 -4） 在弹性范围内, 金属丝受拉力时, 沿轴向伸长, 沿径向缩短, 那么轴向应变和径向应变的关系可表示为 （3-5） 式中: μ——电阻丝材料的泊松比, 负号表示应变方向相反。  将式（3 - 3）, 式（3 - 5）代入式（3 - 2）, 可得  或 （3-6） （3-7） C由材料及加工 方法决定 代入式（3 - 6） 对于金属材料 电阻应变效应 对于半导体材料 半导体材料在受力方向的压阻系数 压阻效应 代入式（3 - 6） 通式 通常把单位应变引起的电阻值变化称为应变灵敏度系数。 k0--- 应变灵敏度系数 灵敏度系数受两个因素影响: ①受力后材料几何尺寸的变化, 即（1+2μ）; ②受力后材料的电阻率发生的变化, 即Δρ/ ε。 优点： ①可制成多种复杂形状尺寸准确的敏感栅；②与被测件粘结面积大；②散热条件好，允许电流大，提高了输出灵敏度；④横向效应小；⑥蠕变和机械滞后小，寿命长。 缺点：电阻值的分散性大 半导体应变片 用单晶硅、锗制成。P型单晶硅结构如图。在直角坐标系中它有许多晶轴方向，实验发现沿不同晶轴方向压阻系数相差很大（电阻率变化相差很大）。 由硅、锗单晶沿特定晶轴方向切片而成 3)应变式传感器举例 ①.应变式力传感器 ②．梁式力传感器 ③．轮辐式力传感器 R1 R3 R2 R4 A D C B + - + - E U0 ⑴只有R1为工作片，P 对于半等臂电桥 ⑵R1 、R2为工作片，P ⑶R1 、R2、 R3、 R4为工作片，P ΔR??R1 2.压阻式压力传感器 扩散硅型压阻传感器 在一块圆形的单晶硅膜片上