真空泵和阀门.docVIP

真空泵： 概要： 真空泵是获得真空的设备，根据自身极限真空的能力将真空泵分为低真空泵和高真空泵。表1.对常用真空泵进行了分类归纳。 表1.常用真空泵的分类： 分类 极限真空 应用 真 空 泵 气 体 移 动 式 位 移 式 卷泵（Scroll pump） 7.5×10-3Torr CD-SEM 油回转泵（Oil sealed rotary pump） 7.5×10-5Torr II/SP 罗茨泵（roots blower, roots pump） 5×10-5Torr II/SP/Dry/CVD 水环泵 (water ring pump) 5×10-3Torr － 活塞泵 (piston pump) 5×10-3Torr － 隔膜泵 (diaphragn pump) 5×10-3Torr II/Anneal 动 力 式 扩散泵 (diffusion pump) 1×10-8Torr II 喷射泵 (ejection pump) － － 分子泵 (turbo molecular pump) 5×10-9Torr II/SP/Dry/ 分子拖曳泵 (molecular drag pump) － － 气 体 凝 聚 式 吸气泵 (sorption pump) － － 冷冻陷阱 (cold trap) － － 冷凝泵 (cryo pump) 5×10-9Torr II/SP/Dry/ 溅射离子泵 (spuutter ion pump,SIP) 5×10-10Torr CD－SEM 钛升华泵 (titanium sublimation pump) － － 非蒸发吸气泵 (non evaporable getter) － － 二、各类真空泵的特性 表2.各类真空泵的特性： 真空泵类型 是否需要 支援泵 是否有油 形成问题的气体或蒸气 备注 入口 出口 干式转动泵 否 否 是 可压缩的 粗抽泵 油密封转动泵 否 是 是 需要气镇 通常用做粗抽/支援 罗茨泵 是 否 是 压缩比低 有油污染，除非先除油 扩散泵 是 是 是 对H2和He低压缩比 油污染最严重 分子泵 是 否 是 高真空泵 分子拖曳泵 是 否 是 吸收泵 否 否 无出口 可燃气体有爆炸的危险 做干式粗抽 冷泵 否 否 否 对H2、He容量低 溅射离子泵 否 否 无出口 对惰性气体不佳 （六）、分子泵（turbo molecular pump） 分子泵是使用高速旋转的叶片，使气体分子有一定方向的动量，藉以获得排气能力的机械泵。抽真空的范围为10-4-10-10Torr。图（10）是分子泵的工作原理示意图，这种泵之所以称为分子泵，因为它必须在进气端的气体处于分子流的情况下，才能有效的操作，此时的压力约在10 高级的分子泵有磁浮式（magnatically levitated）无油。转子以锻造铸模一体成型式，抽气速度可达800l/s或以上。本体连接电缆线和电源供应器均可以定期交换，任何零件更换后，不需再做调整，电源供应器有自行诊断功能。停电时磁浮会藉由再生刹车而自动维持。触地轴承可承受250次停电事件。 一个分子泵的构造如图（11）所示。其各组成部分之作用为：1、入气口，2、定子，3、转子，4、轴承，5、马达，6、马达轴，7、冷却水，8、背压口。 图（10）分子泵的工作原理示意图 图（11）分子泵的构造图 （七）、冷泵(cryogenic pump) 冷泵系统由压缩机（compressor）和冷泵（cryopump）二部分组成。内部有一耐用的闭回路冷冻（refrigeration）单元，如图（12）所示。 1、前置真空接口 2、电源连接 3、进气口 4、挡板 5、二级冷头 6、防辐射层 7、低温板 8、泄放阀 9、一级冷头 10、真空计 1、前置真空接口 2、电源连接 3、进气口 4、挡板 5、二级冷头 6、防辐射层 7、低温板 8、泄放阀 9、一级冷头 10、真空计 图（12）冷泵的结构及配置 先利用压缩机将氦气（He）压缩，以热交换方式除去其所产生的热量。再使氦气急速膨胀，并导入到冷泵内，它吸收大量的热，使泵内调节板（baffle温度降为80K（K:绝对温度），而将水蒸气凝聚。另一冷冻面板（Cryopanel）更降为15K。当气体分子和此面板接触，即被陷住而凝聚。除氩、氦、氖外，所有气体均液化为液体，蒸气压降至10-10Torr以下。至于氩氦氖与低温表面以范德瓦尔力（Van der Wals force）吸收。 冷泵上吸附冷聚的气体，可以利用加热一带状加热器（band heater）使