基于cad跟cam的afm跟stm机电装置的故障诊断跟设计研.pdfVIP

1·80 · 《机床与液压 》2005No7 基于 CAD 和 CAM 的 AFM 和 STM 机电装置的故障诊断和设计研究 1 1 1 2 1 张振宇 , 李鸿琦 , 刘美华 , 周红秀 , 王 　静 ( 1天津大学机械学院力学系 , 天津 300072; 2 天津大学燃烧学国家重点实验室 , 天津 300072) 摘要 : 通过 CAD 和 CAM 的实体建模技术 , 并对 SPM 的工作情况进行仿真研究 , 得到了 SPM 的失效原因。使用 CAM 技术对 SPM 进行设计研究 , 提出了一种针对 SPM 的新型偏心升降装置 , 使得 SPM 的测试高度大大增强 ; 并设计了过载保 护装置 , 解决了 SPM 测试较高样品时的失效问题 。 关键词 : A FM ; STM