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2018-11-30 发布于浙江
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TFT-LCD stage-Mua的研究与改善

第卷第期液晶与显示３２　４　　 Vol．３２　No．４　　　　　　　　　　　ChineseJournalofLiuidCrstalsandDislas 年月 q y p y ２０１７４　　　 A r．２０１７ p 文章编号: ( ) １００７Ｇ２７８０２０１７０４Ｇ０２６９Ｇ０６ TFTＧLCDStaeMura的研究与改善 g ∗ , , , , 肖洋周鹏闫润宝郑云友　　 , , , 齐勤瑞魏崇喜章旭张然　　 ( , ) 北京京东方显示技术有限公司北京１００１７６ : , , , 摘要 TFTＧLCD面板在屏幕上有斑点或波浪状 Mura影响液晶显示器的品质经过图形匹配缺陷与曝光机机台形貌匹 . , 、 . : 配通过对异常区域特性分析发现异常区域的BM CDBM像素间距存在异常对原因进行模型分析玻璃在曝光机 , , , , 基台上局部区域发生弯曲曝光距离变短致使 BM PR受光区域变小 BM CD会偏小进而导致区域性透过光不均一产 ; , . , 生 Mura玻璃弯曲后 BM像素间距相对于设计位置也会发生变化从而导致漏光产生 Mura 经过实验验证 BM CD和 , , 像素间距的偏差主要由机台凸起导致 glass弯曲引起可以通过降低吸附压力和研磨机台来改善 CD差异和像素间距 , , . 、 , 偏移同时像素间距偏移漏光也可以通过增加 CD来改善最终通过 BM CD增加研磨机台和降低吸附压力措施 StaeMura不良率由１０．０５％下降至０．１１％. g : ; ; ; 关键词薄膜晶体管液晶显示器色斑线宽像素间距　　中图分类号: 文献标识码: : / TN１４１．９　　 A　　doi１０．３７８８YJYX０２６９ Researchandim rovementofTFTＧLCD