光电功能薄膜技术研讨1序言-材料系.ppt

课程名称：光电功能薄膜技术（研讨） 第1-13周：授课、研讨 考核方式：出勤、实验、考试 时间安排： 1-16周 周四（6-7） 教七-10A 第14、15周：实验、答疑 第16周：考试 薄膜有时与类似的词汇“涂层” （coating）、“层”（layer）、“箔”（foil）等有相同的意义，但有时又有些差别。 有关“薄膜（thin film）”的定义 ① two-dimension materials ② thin 多“薄”的膜才算薄膜？（视功能及其应用领域而定） ③ film = layer of material on a substrate 薄膜可以有气体薄膜、液体薄膜（液晶） ，但研究最多、应用最广的是固体薄膜（Thin Solid Film） 。 薄膜的例子 广泛应用在日常生活、生产和科学研究中 日常生活 生产 科学研究 刀具表面氮化物、氧化物、碳化物镀膜 薄膜技术发展的历史 3000多年前，中国古代在陶瓷中已开始采用釉涂层。 19世纪初，发现辉光放电过程可沉积固体薄膜。 20世纪后，电解法、化学反应法和真空蒸镀法等薄膜制备方法相继问世，薄膜技术迅速发展。光学薄膜最先得到研究和应用，成功地制备了各种增透膜、高反膜、滤光膜、分光膜等光学薄膜，在光学仪器、太阳电池、建筑玻璃等领域得到广泛的应用。20世纪50年代以后，微电子技术的进步极大地推动了薄膜技术的进步。在