2-2浙江工大压阻式传感器-精选（公开课件）.pptVIP

传感器与检测技术 作者：马修水 2.2压阻式传感器 金属电阻应变片性能稳定、精度较高。这类应变片的主要缺点是应变灵敏系数较小。 20世纪50年代中期出现的半导体应变片可以改善这一不足，其灵敏系数比金属电阻应变片约高50倍，主要有体型半导体应变片和扩散型半导体应变片。 用半导体应变片制作的传感器称为压阻式传感器，其工作原理是基于半导体材料的压阻效应。 2.2.1 半导体压阻效应和压阻式传感器工作原理 1．半导体压阻效应和压阻式传感器工作原理 半导体的压阻效应是指单晶半导体材料在沿某一轴向受外力作用时，其电阻率发生很大变化的现象。不同类型的半导体，施加载荷的方向不同，压阻效应也不一样。目前使用最多的是单晶硅半导体。 对于长l，截面积S，电阻率ρ的条形半导体应变片，在轴向力F作用下利用式（2.1.5）的结果，对于金属材料，Δρ/ρ项值很小，可以忽略不计；对半导体材料，Δρ/ρ项值很大，因此可得： 半导体单晶的应变灵敏系数可表示为 (2.2.2) 式中，E — 半导体应变片材料的弹性模量； πL — 半导体晶体材料的纵