北京大学反应离刻蚀机.docVIP

招标编号：2008[19] 北京大学实验室与设备管理部 PAGE .PAGE 2. 北京大学反应离子刻蚀机 招标采购项目 招 标 文 件 编号：2008[19] 北京大学实验室与设备管理部 二〇〇八年五月十九日 目 录 TOC \o 1-3 \h \z \u HYPERLINK \l _Toc194485676 第一部分 投 标 邀 请 PAGEREF _Toc194485676 \h 2 HYPERLINK \l _Toc194485677 第二部分 招标说明 PAGEREF _Toc194485677 \h 4 HYPERLINK \l _Toc194485678 第三部分 技术要求 PAGEREF _Toc194485678 \h 8 HYPERLINK \l _Toc194485683 第四部分 设备明细表 PAGEREF _Toc194485683 \h 12 HYPERLINK \l _Toc194485684 第五部分 技术规格偏离表 PAGEREF _Toc194485684 \h 13 HYPERLINK \l _Toc194485685 第六部分 原厂授权 PAGEREF _Toc194485685 \h 1