什么是景深,如何优化扫描电镜景深.PDFVIP

什么是景深 ，如何优化扫描电镜的景 深 ？ 发布者 ：飞纳电镜 扫描电镜 （SEM ）的用途之一就是拍摄样品的细微特征。那么为什么不与日常摄影进行类 比呢 ？下面 ，让我们来分析一下扫描电镜 （SEM ）和相机在聚焦物体时的相似之处 ，以及 景深的准确定义。 什么是景深 ？ 在拍摄照片时 ，目标物体应该始终处于焦点位置 ，并尽可能地清晰。从艺术的角度来说 ，这 无声地吸引了观察者的注意力。实际上 ，它揭示了对焦区域的更多细节信息。 但是该物体中有多少部分是真正处于对焦状态 ，这部分占比又是如何调控的呢 ？对焦状态 的图像部分始终是一个平面 ，这意味着我们只能对完美的平面进行观察（拍摄 ）。幸运的是 ， 只要它 “足够接近”焦平面 ，我们的大脑可以处理那些稍微脱焦的部分。而这一部分则被称 为景深。 影响景深的因素有几个 ，调节这些参数 ，拍摄照片所包含的信息就会变多或变少 。光圈大 小和聚焦装置 （摄影中的镜头和 SEM 中的物镜 ）起着重要作用。 成像设备和拍摄目标之间的距离也是很关键的。一般来说 ，当物体离得很远的时候 ，景深会 增加 ，而更多的物体会变得足够清晰 ，使得大脑能够处理并区分它们。 当物体靠近时 ，景深会急剧下降 ，而锐利程度或分辨率会增加 ，从而可以看到物体太远时所 观察不到的细节。(见图 1)。 1 图 1 ：a ）花朵的特写镜头——近距离拍摄时 ，周围背景会模糊 ；b ）风景图片——距离拉 远 ，景深从几厘米扩大到几公里。两张照片都采用同一光圈和镜头拍摄。 电子显微镜是如何聚集的 在电子显微镜中 ，焦点是入射电子束圆锥直径最小时的位置。灯丝发射电子束 ，镜筒内的电 磁透镜以及末端光阑 ，约束电子束 ，并决定最小束斑尺寸。 当电子束直径接近最小值时 ，分辨率将提高。该最小值通常是在特定的、最优的工作距离下 获得——工作距离即物镜极靴下表面和样品的间距。工作距离过长或过短时 ，电子束直径 的最小值将会变大。此时 ，也就无法获得最佳分辨率。不过在这些情况下 ，仍然是可以对焦 的。 电子束直径最小处所对应的水平面即所说的焦平面。当电子束对焦时 ，所有处于该焦平面上 的特征物都是非常清晰的。调焦意味着改变这个平面的高度。在该平面之上或之下的所有特 征将逐渐变得越来越模糊 ，直至无法辨识。 工作距离如何影响景深 总结一下刚才所讨论的 ：景深指的是工作距离的一段范围 ，在该范围内 ，图像的清晰度可以 接受。而最佳工作距离可以在对焦时提供最佳分辨率。 然而 ，有某些情况下 ，分辨率变得不那么重要 ，景深对结果的影响则要大得多——例如 ， 在观察较高样品时。 观察昆虫时 ，能区分所有的特征——例如腿和头顶 ，是至关重要的关键。在观察电连接时 ， 同样如此。在一张图中可以同时看清整根电线和两端的连接触点 ，从而对样品有全面的了解 ， 这很有意义。 对于这些情况 ，较长的工作距离——同时尽可能最优——有助于获得更大的景深 ，并在图 像中清晰地观察到更多细节。 2 图 2 帮助解释了工作距离的作用原理。当样品距离极靴更近时 ，电子束的锥角更大。这意 味着稍微偏离焦平面就会导致电子束直径的明显变大 ，从而图像明显模糊。 图 2 ：物镜、电子束和焦平面的示意图。当工作距离较长时 （a ），锥角α 较小 ，稍微远离 焦平面不会使图像明显模糊 ；工作距离缩短 ，锥角β 很大 ，远离焦平面会使电子束直径明 显增加 ，因此图像模糊。另一方面 ，焦平面上的光束直径更小 ，分辨率更好。 另一方面 ，当样品距物镜较远时 ，光束角较小 ，并且偏离焦平面所引起电子束直径变化也更 小。因此 ，可以相对清晰地观察到不同高度处的所有特征点。 扫描电镜 （SEM ）的景深可以从几微米变化几毫米 ，适当调整景深可以获得最佳的分析结 果和成像质量。选择合适的工作距离与正确制备样品是一样重要的。就比如 ，对样品喷金可 以增加有机物样品的背散射电子产率。 关键词 ：扫描电镜 台式电镜 台式扫描电镜 样品制备 关于作者 Luigi Raspolini Luigi Raspolini 是 Phenom-World 的应用工程师, 后者是台式扫描电镜的领军制造商。 Luigi 一直在探寻材料表征、表面粗糙度测量及成分分析的新手段。他对改善用户体验、展 示最佳拍照