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- 2018-11-04 发布于山东
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常见的第6章 通信功能与总线接口附件-CANopen协议简介与应用开发
DS 401 RPDO1:映射到6200H的8个8bit array (DO) TPDO1:映射到6000H的8个8bit array (DI) 对应最大64个DI/DO(Boolean) RPDO2:映射到6411H的前4个16bit array(AO) TPDO2:映射到6401H的前4个16bit array(AI) RPDO3:映射到6411H的中4个16bit array(AO) TPDO3:映射到6401H的中4个16bit array(AI) RPDO4:映射到6411H的后4个16bit array(AO) TPDO4:映射到6401H的后4个16bit array(AI) Integer类型 2.1 应用对象 低温等离子体设备系统。 二 CANopen协议具体应用开发 PECVD设备系统概念图 除害装置 MFC MFC MFC 气瓶柜 Gas Box 出气电极(阳极) Heater 等离子 电源匹配箱 P 控制器 RF電源 下部电极(阴极) 压力计 节流阀 Pump 气体供给 流量控制 RF电源 压力控制 真空排气 工艺腔室 PECVD设备组成结构示意图 基于CAN总线的低温等离子体设备系统设计方案 2.2 系统设计方案 系统软件总体框架 CAN驱动模块 状态管理和 反馈模块 实时过程数 据传输模块 参数读取 和配置模块 紧急事件 处理模块 对象字典
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