常见的MEMS和微系统概述.ppt

微机电的概念最早可追溯到量子物理学家理查德·费曼，1959年12月29日在美国加州理工学院、美国物理学年会上发表《底部有很大空间》的演讲，他这样描述MEMS技术： “如果有一天可以按照人们的意志安排一个个原子，那将会产生什么样的奇迹呢？” 1965年诺贝尔物理奖得主。他是集荒诞与天才于一身的伟大物理学家。 * MEMS的发展，集成电路（IC）技术是起始点。 20世纪50年代末、60年代初，开发了半导体集成电路工艺。这样科技工作者就可以在微米尺度上规模制作出电子元器件和电路。 在此期间，1954年史密斯发现了压阻效应。1958年人们用单晶硅制作了半导体应变片，其灵敏度是金属应变片的数十倍。1962年第一个硅压力传感器问世。 * 值得注意的是：20世纪80年代末，90年代初，是微型机械历史上第一个丰收的季节。 微机电研究的真正兴起则始于1987年，其标志是直径为10um的硅微马达在加州大学伯克利分校的研制成功。1987年， U. C. Berkeley（UCB）大学华裔留美学生冯龙生等人利用微机械加工技术制作出了世界上第一个微静电马达，标志着MEMS技术的诞生。 1988年5月27日，伯克利分校科研人员为直径约120um的静电马达通电，并在显微镜下观察了其运转情况。这只小小的电机虽然只转动了很短时间，但它的成功运转代表了人类向微型世界又迈出了实质性的一步。专家预言，它的意义可与当年晶体管的发明相比。自此以后，微电子机械系统技术开始引起世界各国科学家的极大兴趣。 * * ，并集中了当今科学技术发展的许多尖端成果，可谓集百家于大成。 * 研究机构和工业界在过去20多年里进行了坚韧的努力以开发和生产更小及更好的MEMS器件和部件。下面是近年来出现的部分MEMS部件和器件。 * 这些微机械部件有多小呢？我们可以将它与灰尘尺寸做个对比就知道了。 * 集成电路和微处理器技术的发展导致的数字电子计算机小型化到了惊人的程度，促进了MEMS技术发展。 * 汽车工业在过去20年中已经是MEMS技术的主要用户，市场规模大。 目前应用于汽车各个系统的MEMS传感器得到迅速发展，在中高档汽车中，大约采用了40只甚至更多的MEMS传感器。 * 左图是美国Sandia国家实验室研制的小型自动机器人汽车(MARV)。整个汽车的。 预期应用包括显微外科、行星任务中的小型漫步，微型监视等。这个汽车包括车载计算机、传感器和控制系统，它可以根据任务的需要进行完全自主的操作。 * 如果移动电话设计想要支持未来用户期望的所有业务，创造性思维是必不可少的。许多业界观察人士认为，未来支撑技术将基于微电子机械系统(MEMS)设计。 * 传统的药物注射会产生疼痛是因为针头的针尖部分已经刺入到具有大量神经末梢的皮肤组织层，该皮肤组织层处于皮肤表面大约50~70μm，如果采用小于这个尺寸的针头，那么药物注射可以在没有神经末梢的皮下层完成，这样病人就不会感觉到疼痛了。 * MEMS涉及电子、机械、材料、制造、通讯和自动控制、物理、化学 和生物等多种学科。 三、MEMS的特点 5.多学科交叉 四、典型MEMS器件及应用 一个比蚂蚁头的尺寸还要小得多的齿轮 双层微齿轮 1.MEMS器件 微齿轮 四、典型MEMS器件及应用 微齿轮 图正前方毛毛嘈嘈的东西是一粒灰尘，其后方是一个微机械部件，只有几个微米！ 微机械部件 微泵 微机械部件 四、典型MEMS器件及应用 美国Sandia实验室制作的微驱动系统与一只昆虫触须的对比图 新加坡南洋理工大学齿轮传动机构 微传动机构 微驱动系统 微齿轮传动机构 四、典型MEMS器件及应用 超声微马达 在光纤多路开关中使用的静电旋转微马达 静电微马达 电磁型微马达与芝麻 微马达 国内自主开发几种微马达 四、典型MEMS器件及应用 远比蚂蚁还小的微涡轮 四、典型MEMS器件及应用 微涡轮 微型涡轮叶片 微型光开关 用于控制来自光纤的入射光转到相应的接收光纤中。 微镜 四、典型MEMS器件及应用 Mirror Support Structure Substrate Hinges Torsion Hinges 1st DOF 2nd DOF Force-redirecting Linkage 微镜 四、典型MEMS器件及应用 七、MEMS的应用 MEMS应用领域涉及计算机、汽车、通讯、医药、军事等 2.MEMS的应用 四、典型MEMS器件及应用 应用之一：计算机方面应用 四、典型MEMS器件及应用 世界上第一台通用计算机于1946年在美国宾夕法尼亚大学诞生。它是一个庞然大物，用了18000只电子管、30吨、150平方米、25千瓦。 1958年9月12日: INTEL公司研发了集成电路（