大数值孔径物镜波像差测量及其特殊问题.pdfVIP

第 24卷 第 3期 光学 精密工程 VO1．24 NO．3 2016年 3月 OpticsandPrecisionEngineering M ar．2016 文章编号：1004—924X(2016)03—0482—09 大数值孔径物镜的波像差测量及其特殊问题 刘志祥 ，邢廷文 ，蒋亚东，吕保斌 。 (1．中国科学院光电技术研究所，四川成都610209； 2．电子科技大学，四川成都610054； 3．中国科学院大学，北京100049) 摘要：设计了基于振幅型棋盘光栅的二维剪切干涉仪，用于测量大数值孔径(NA)物镜的波像差。研究了棋盘光栅剪切 干涉仪的基本原理，分析了大数值孔径物镜波像差测量时涉及的几个特殊 问题。首先，根据棋盘光栅的远场衍射函数 分析了棋盘光栅的衍射效率和衍射级分布，给出了剪切干涉图数据的处理方