第4章-电容式传感器.pptVIP

图为变间距型电容式传感器的原理图。当传感器的er和A为常数,初始极距为d时,可知其初始电容量C0为：则:或:说明：(1)DC与Dd近似呈线性关系,所以变间距型电容式传感器只有在Dd/d很小时,才有近似的线性输出。(2)此时电容式传感器的灵敏度为:云母片的相对介电常数是空气的7倍,其击穿电压不小于1000kV/mm,而空气的仅为3kV/mm。因此有了云母片,极板间起始距离可大大减小。同时,上式中的(dg/e0eg)项是恒定值,它能使传感器的输出特性的线性度得到改善。一般变极板间距离电容式传感器的起始电容在20～100pF之间,极板间距离在25～200mm的范围内,最大位移应小于间距的1/10,故在微位移测量中应用最广。单变隙式电容的非线性误差：差动式电容的非线性误差：可见采用差动式可以提高线性度。总结：为兼顾灵敏度和线性度，一般采用差动式变隙式结构形式，一般这种结构形式只能用来测量微小位移或微小振动。即测量范围小但灵敏度高。左图所示为一直线位移型电容式传感器的原理图。当被测量的变化引起动极板移动距离Dx时，覆盖面积S就发生变化，电容量C也随之改变，其值为：说明：（1）由此可见电容C的相对变化DC/C0与直线位移Dx呈线性关系，其测量的灵敏度为：K仅与b/d