第四章--电容式传感器.pptVIP

第4章电容式传感器电容式传感器是把被测量的变化转换成电容量变化的一种传感器。电容式传感器不但广泛用于位移、振动、角度、加速度等机械量的精密测量，而且还逐步地扩大到用于压力、差压、液位、物位或成分含量等方面的测量。第4章电容式传感器优点：①功率小、阻抗高；②静电引力小、动态特性良好；③和电阻式传感器相比，电容式传感器本身发热影响小；④可进行非接触测量；⑤结构简单，适应性强，可在温度变化比较大或具有各种辐射的恶劣环境中工作。缺点：①输出具有非线性；②寄生电容往往降低传感器的灵敏度。第4章电容式传感器4.1电容式传感器的工作原理和结构4.2电容式传感器的主要特性4.3电容式传感器的测量电路4.4影响精度的因素及提高精度的措施4.5容栅式传感器4.6应用举例4.1电容式传感器的工作原理和结构1.工作原理如图所示的平板电容器,如果不考虑边缘效应,其电容量为4.1电容式传感器的工作原理和结构由式(4.1)可知，电容式传感器分为三种类型①变极距型。A和er不变，改变d。可用于测量小位移。②变面积型。d及er不变，改变A(改变覆盖长度或宽度)。可用于测量较大线位移或角位移。4.1电容式传感器的工作原理和结构