第三章-电容式传感器.pptVIP

第三章电容式传感器电容器是电子技术中三大无源元件（电阻、电容、电感）之一。电容式传感器是将被测量(如尺寸、压力等)的变化转换成电容量变化的--种传感器。1920～1925年Whiddington就利用电容传感器成功测量了大气压下的9.3×10－4Pa的压力变化，10－8cm机械位移，1/16000℃的温度变化，10－10N的重量等。优点：①温度稳定性好；②结构简单、适应性强；③动态响应好；④可以实现非接触测量，具有平均效应点；⑤机械损失小。缺点：①输出阻抗高，负载能力差；②寄生电容影响大；③输出特性非线性应用：位移、压力、厚度、物位、温度、湿度、振动、转速、流量及成分分析等。一、电容式传感器的工作原理两个平行金属极板组成的电容器，如果不考虑其边缘效应，其电容为：改变电容C的方法有三种：其一为改变介质的介电常数ε；其二为改变形成电容的有效面积；其三为改变两个极板间的距离。而得到电参数的输出为电容值的增量ΔC，这就成了电容式传感器。根据上述原理，在应用中电容式传感器可以有三种基本类型，即变极距(或称变间隙)型、变面积型和变介电常数型。1、变面积型：变面积型传感器是线性的。增大初始电容C0可以提高灵敏度K，这种传感器主要用于位移等参数的测量。2、变介电常数型：