4.4-电容式传感器.pptVIP

***/jp2005/18/chuangq_01_10.asp*4.4电容式传感器采用电容器作为传感元件，将不同物理量的变化转换为电容量的变化。被测信息敏感元件转换元件辅助电源信号调理电路输出信息电容元件电容元件实际上是一个具有可变参数的电容器电容式传感器广泛用于位移、角度、振动、速度、物位、压力、成份分析、介质特性等方面的测量。在测量极小距离或位移时如果要有较高的分辨率，则电容测微仪分辨率可达0.01μm，最大量程为100±5μm，因此在精密小位移测量中受到青睐。*学习要点1.掌握电容式传感器的类型（根据工作原理）、特点及其应用；2.了解电容式传感器的测量电路；3.了解电容式传感器的特点；4.了解电容式传感器的应用*1.工作原理及类型用两块金属平板作电极可构成电容器，当忽略边缘效应时其电容C为：Aδεδ、A或ε发生变化时，都会引起电容的变化。变面积型电容式传感器变极距型变介质型*（1）极距变化型变极距型传感器常常是一块极板固定而使另一块极板移动，从而改变极距?以引起电容的变化。++++++因此电容器传感器的灵敏度为：灵敏度与极距的平方值成反比，极距越小时灵敏度越高。为减小非线性误差，该类传感器通常用于测量微小位移。*为减小非线性误差，通常规定在较小的间