三氯氢硅氢还原制备多晶硅探析.pptVIP

第九节 现场生产中常见的危险化学品，以及保证安全生产所具备的安全设施。 1．三氯氢硅： 无色、透明液体，三氯氢硅具有毒性和腐蚀性。 其化学性质如下： 1）易水解、潮解、在空气中强烈发烟，生成HCl，遇水立即转化为盐酸，盐酸具有很强的腐蚀性 2．二氯二氢硅氢： 二氯二氢硅氢（DCS）是一种无色、透明液体，有毒的易燃气体。 3．氢: 氢气是一种相当易燃、易爆的气体。 与空气混合的爆炸极限，下限为：4﹪；上限为： 80﹪。 4．氯化氢: 氯化氢是无色、有刺激性气味、易溶于水的气体，具有毒性和腐蚀性。 5.四氯化硅： 四氯化硅（STC）是无色、透明液体，具有毒性和腐蚀性。 其化学性质如下： 易水解、潮解、在空气中强烈发烟，生成HCl，遇水立即转化为盐酸，盐酸具有很强的腐蚀性 6．氮气: 氮气属于惰性气体、保护气体。 7 ．甲醇: 甲醇是无色易燃液体。 第十节 警报/联动/紧急停车 警报/联动/紧急停车 还原系统的设备的运行情况是由DCS中央监控的。在设备出现异常情况时，警报系统会告诉操作人员潜在的问题，如果异常情况继续存在，为了保证安全生产环境和设备的安全，联动装置和紧急停车系统就会启动。 还原过程中的指标及计算 1. 实收率 实收率是指每炉多晶硅产量