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- 2018-11-14 发布于天津
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第卷第期光学精密工程年月文章编号无交叠垂直梳齿平动微镜的驱动特性翟雷应徐静钟少龙吴亚明中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室传感技术联合国家重点实验室上海中国科学院研究生院北京摘要为了设计用于光相位调制器平动微镜的无交叠梳齿驱动器建立了保角变换数学模型研究了驱动器的驱动特性从复变函数理论出发建立了驱动器的保角变换静电场解析模型以动齿受力为研究对象根据不同情形下的动齿受力特点求解了一定区间内动齿的静电力并与有限元模拟计算结果进行了对比分析采用微机电系统工艺制作出了无交叠梳齿驱动器
第 卷 第 期 光学 精密工程
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