离子溅射镀膜机工件架系统设计论文.docxVIP

离子溅射镀膜机工件架系统设计论文 　　1真空磁控离子溅射镀膜机的特点　　真空磁控离子溅射镀膜机的运用范围十分广泛，能够运用于道具或者模具的表面强化中，还能够运用与叶片、气门灯等机械零件的表面强化中。另外，在医学工业中，或者在彩色膜钢板生产中，甚至在手表、餐具等日常用品中，均可以使用真空磁控离子溅射镀膜机完成工件镀膜。由于真空磁控离子溅射镀膜机具有耐腐蚀的特点，还被运用到我国的航空航天事业中。　　2真空磁控离子溅射镀膜机工件架系统设计　　工件架系统设计的主要参数　　工件架系统设计的主要参数为：半球形样品的直径80mm；半球壳型样品的直径80mm；真空室加热温度为200±2℃；工件升降行程设置为50mm；工件平移距离设置为500mm；工件自转速度设置为30r/min。　　工件升降组件的设计　　工件升降部分采用螺旋传动机构，目的是为了让升降台进行升降，进而实行换位。螺旋传动机构使用意图是把旋转运动转换成直线运动，或者把直线运动转换成旋转运动，螺旋传动是通过利用螺杆和螺母组成的螺旋副来实现传动的。本文将工件架系统设计的升降丝杠螺母副需要承受的重量设为6kg，上文中将螺母的有效行程是50mm，其中螺母副需要承受较大的压力。　　工件自转部件传动装置的设计　　在真空电机的选择上，由上文可知自转部件的转速为30r/min，符合这个要求的主要是德国产的真空电机，由于自转部件的传动方