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失效分析经典案例分享 （胜科纳米实验室） 郑海鹏 / haipeng@ 关于胜科纳米 ·胜科纳米（苏州）有限公司成立于2012年，国内提供高端失效分析和材料分析服 务的第三方一站式实验室。 胜科纳米（苏州）依托于胜科纳米（新加坡）的高端分析技术和管理团队，立足于 苏州工业园区，为高科技企业提供优质、高效、快捷的服务，覆盖长三角区域乃至 全国范围，努力成为国内具有综合分析能力和世界级水平的分析测试中心。 胜科纳米（苏州）在苏州工业园区纳米城的一期工程投资三千万元，而二期工程将 追加两亿元投资，届时将成为国内最大的商业化分析中心。 胜科纳米的目标 失效分析 为客户提供一站式的分析服务及解决方案 胜科纳米的价值 线路修改 材料分析 创新，主动，全程参与 发展历程 • 2004, 公司创立于新加坡 • 2007, 新加坡半导体协会创始会员 • 2008, 新加坡科学园失效分析中心成立 • 2009, ISO 9001 认证 • 2010, 新加坡科学园材料分析中心成立 • 2011, 新加坡明星企业15强 • 2012, 胜科纳米（苏州）成立 • 2013, ISO17025认证 • 2014, Complete FA integration for lab-lite 客户分布 Su Zhou, China 胜科纳米苏州 Singapore 胜科纳米新加坡 行业覆盖 •半导体Semiconductor •平板显示Flat Panel •发光二极管LED •硬盘Storage Peripheral • 电子元器件Electronics Components •设备厂商Equipment Manufacturer •研究机构及大学院校Research Institute University 主要客户 胜科纳米的分析领域  CVD PVD镀层分析  MOCVD 量子阱  ALD，BME原子层  金属电镀结构  光刻膜形貌 Lithography  离子注入 Ion Implantation  离子扩散 Ion Diffusion  微量元素分析  表面有机/无机污染物  表面粗糙度 Surface Roughness  有机基体分析 Organic substrate  打线 Wire Bonding  电性测试Electrical Testing  PL荧光光谱测试 一站式分析 失效重现: Electrical, Optical, Environmental, Mechanical 封装级分析: X-Ray, CSAM, TDR, Thermal 封装开封: Decapsulation, De-lid 电性失效分析 失效定位: EMMI, OBIRCH, Thermal 芯片线路修改 显微探针检测 纳米探针检测: CAFM, AFP 物性失效分析 材料分析 静电测试 去层: RIE, Chemical, CMP 表面分析: TOF-SIMS, XPS, Auger HBM/MM