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CMOS图像传感器的发展与现状 一?引言 自上世纪60年代末期，美国贝尔实验室提出固态成像器件概念以 来，固体图像传感器得到了迅速的发展。在早期的70年代时期，电 荷耦合器件(CCD)、电荷注入器件(CID)、光敏二极管阵列(PDA)得到了 发展。而这其中，CCD发展尤为迅速，到90年代时，CCD技术匕经 比较成熟。然而，随着CCD的应用幵始广泛起来，其缺点也开始逐 一显露。例如：CCD光敏单元阵列难与驱动电路及信号处理电路单片 集成，不易处理一些模拟和数字功能，这些功能包括模/数转换器、精密 放大器、存贮器、运算单元等元件的功能;CCD阵列驱动脉冲复杂，需 要使用相对高的工作电压，不能与深亚微米超大规模集成(VLSI)技术兼 容。因此，人们又开发了另外几种固体图像传感器技术,CMOS图像传 感器便是其中的一种。早期的CMOS图像传感器，受制于当时的工艺 水平，丼图像质量差、分辨率、低噪声高、光照灵敏度不够。相比之 下，CCD在这些方面有着出色的性能。因而早期的图像传感器市场一 直是CCD器件的天下。而近年来，随着集成电路设计与制造工艺的 发展，CMOS传感器的上述缺陷得到了克服或改进，而其固有的优势 开始体现出来，这使得CMOS传感器开始迅速占领市场，其研究也再 次成为了热点。 二.CMOS传感器发展历史 CMOS图像传感器的研发大致经历了 3个阶段:CMOS无源像素 传感器(C