薄膜生长薄膜结构.pptVIP

第二讲 薄膜材料的形核与生长 薄膜生长过程概述 —薄膜的生长过程直接影响到薄膜的结构以及最终性能 薄膜生长过程概述 —薄膜的生长过程直接影响到薄膜的结构以及最终性能 薄膜生长过程概述 —薄膜的生长过程直接影响到薄膜的结构以及最终性能 2. 薄膜的形成过程 吸附、表面扩散与凝结 吸附 吸附、表面扩散与凝结 吸附、表面扩散与凝结 吸附、表面扩散与凝结 吸附、表面扩散与凝结 吸附、表面扩散与凝结 吸附、表面扩散与凝结 吸附、表面扩散与凝结 吸附、表面扩散与凝结 吸附、表面扩散与凝结 吸附、表面扩散与凝结 吸附、表面扩散与凝结 吸附、表面扩散与凝结 吸附、表面扩散与凝结 吸附、表面扩散与凝结 吸附、表面扩散与凝结 吸附、表面扩散与凝结 吸附、表面扩散与凝结 吸附、表面扩散与凝结 吸附、表面扩散与凝结 吸附、表面扩散与凝结 吸附、表面扩散与凝结 吸附、表面扩散与凝结 吸附、表面扩散与凝结 吸附、表面扩散与凝结 吸附、表面扩散与凝结 吸附、表面扩散与凝结 凝结系数（ac）：当蒸发的气相原子入射到基体表面上，除了被弹性反射和吸附后再蒸发的原子之外，完全被基体表面所凝结的气相原子数与入射到基体表面上总气相原子数之比称为凝结系数 。 凝结过程中的物理参数： 粘附系数（as）：当基体表面上已经存在着凝结原子时，再凝结的气相原子数与入射到基体表面上总气相原子数之比称为粘附系数 。 J：单位时间