2012Q2第23期电子气体化学品应用与安全培训报告-陈道永.ppt

电子气体化学品应用与安全;事故案例分析及气体化学品产品安全 气体输送系统 化学品输送系统 个人防护用品（PPE） 化学品应用与安全 高洁净零部件基础 ;硅烷事故分析 1.BDHX气体供应厂错将氧气瓶当作氮气瓶发给用户,在硅烷系统需要用氮气吹扫时却用了错发的氧气瓶,使系统充入氧气,引起爆炸,钢瓶炸裂,楼房炸塌,死两人。气瓶标识和检验是气瓶操作最基本的安全规范。 2.日本大阪大学实验室发生硅烷钢瓶爆炸,据调查发现是止回阀失效导致一氧化二氮进入硅烷钢瓶。系统内氧化剂的使用需要采取高度可靠的防护措施，并定期检验是否正常。 3.1989 年12 月,半导体制造工厂中发生的爆炸事故,据分析是由于硅烷泄漏时没有立即着火,待关上放气阀,切断气体来源后使气体的流速变慢,达到着火界限而引起的。发现硅烷泄漏时,应视具体情况采取正确的处理措施,防止引发火灾和爆炸。 ;4.硅烷泄漏据最新调查表明,火灾是最多的事故(59 %) ,其次是爆炸(11 %) 和泄漏(11 %) 。约45 %的事故发生在工艺阶段,但换瓶时的事故发生率仍高达21 %。尽量减少钢瓶的换瓶次数能减少事故发生。 5.韩国AP公司硅烷工厂发生泄漏，导致爆炸。 6.在一家大型IC 公司的研究报告中分析了36 次硅烷事故发生的原因,认为都是由人为的错误操作导致的，而不是由设备故障引起的。因此,除了进一步完善设备设计外,严格的操作训练和规范的安全管理是更加重要的。 ;大宗气体：N2、O2、Ar、H2、He、天然气 特殊气体 晶体硅太阳能电池：SiH4、NH3、CF4 薄膜太阳能电池：SiH4、PH3、B2H6、NF3 IC芯片制造：SiH4、NH3、NF3、Cl2、DCS、PH3、HCl、HBr、SiF4、WF6 TFT-LCD：SiH4、NH3、HCl、NF3、N2O MOCVD-LED：SiH4、NH3、 PH3、AsH3 光纤预制棒：SiCl4、GeCl、Cl2;?硅烷是一种无色、与空气反应并会引起窒息的气体。该气体通常与空气接触会引起燃烧并放出很浓的白色的无定型二氧化硅烟雾。它对健康的首要危害是它自燃的火焰会引起严重的热灼伤，如果严重甚至会致命。如果火焰或高温作用在硅烷钢瓶的某一部分会使钢瓶在安全阀启动之前爆炸。如果泄放硅烷时压力过高或速度过快会引起滞后性的爆炸。泄漏的硅烷如没有自燃会非常危险，不要靠近。处理紧急情况的人员必须要有个人防护设备和适应当时情况的防火保护。不要试图在切断气源之前灭火。 ?硅烷气是太阳能电池生产过程中不可或缺的材料，因为它是将硅分子附着于电池表面的最有效方式。在高于400℃的环境下，硅烷气分解成气态硅和氢气。氢气燃烧后，剩下的就是纯硅了。此外，硅烷气可以说是无处不在。除了光伏产业外，还有很多制造工厂需要用到硅烷气，如平板显示器、半导体、甚至镀膜玻璃生产厂。;1个大气压为14.7psi=100KPa=10公斤。 夏季一个满瓶SiH4瓶口压力大约1400psi左右，也就是说夏季一个满瓶SiH4的瓶口压力为1000公斤。;1.钢瓶阀门选用 一般都采用隔膜阀，禁止使用填料阀,阀门上必 须带有超压卸压装置。 2. 硅烷的最大充装系数 日本高压气体安全协会技术委员会特种 气体分会推荐硅烷气瓶充装系数不大于 0.22kg/L 。 ;1.钢瓶外观是否正常，是否有撞击变形等异常现象。 2.检查钢瓶上的标识是否清楚完整。 3.检查钢瓶阀是否关闭完好，防止钢瓶在运输过程中阀门松动，出现漏气情况。 4. 检查钢瓶的压力或重量，防止硅烷量过充。 5.检漏。;1.在通风良好、安全且不受天气影响的地方存储。 2. 钢瓶应直立摆放，保持阀门堵头密封性和瓶帽完好。为了保证钢瓶不被翻倒或碰倒，应做好放倒措施。 3.存储区域应远离人员频繁出入处和紧急出口。 4.储存区域内不应有火源，储存区内所有电器必须有防爆设施。易燃物存放区应与氧及氧化物存放区最少相距25米 。 5.储存区和使用区内应有“禁止吸烟和使用明火”的告示牌。 6. 存储温度不可高于52℃。 7. 将空瓶与满瓶分开存放。避免过量存储和存储时间过长. 8.要定期对满瓶气进行检漏，防止钢瓶泄露。 9. 储存区应配备灭火器和消防栓，并时刻保持完好。;1.硅烷钢瓶移动，选用专用的移动工具。禁止拉﹑滚动或者滑动钢瓶。 2.钢瓶在使用之前要进行固定。 3.连接钢瓶之前，要弄清钢瓶的标示(气体名称、压力、浓度等) ，最好要记录开始使用的年月日、使用人及压力等必要事项， 并让任何人都能看明白。 4.连接钢瓶之前，要对整个系统进行彻底的吹扫,防止吹扫不彻底推迟着火,反而会加大随后爆炸