一种与CMOS工艺兼容的热电堆红外探测器-红外技术.PDFVIP

第34 卷 第2 期 红 外 技 术 Vol.34 No.2 2012 年2 月 Infrared Technology Feb. 2012 一种与 CMOS 工艺兼容的热电堆红外探测器 1 1 1 1 1 2 赵利俊 ，欧 文 ，闫建华 ，明安杰 ，袁 烽 ，夏 燕 （1.中国科学院微电子研究所，北京 100029 ；2. 中北大学电子测试国家重点实验室，山西 太原 030051 ） 摘要：报道了一种与 CMOS 工艺兼容的微机械热电堆红外探测器。提出了具有一对热电偶的两层悬 80% P/N 浮结构，其占空因子达到 以上，并