子孔径拼接检测非球面时调整误差的补偿-中国光学.PDFVIP

第远卷摇 第员期 摇 摇 摇 摇 摇 摇 中国光学摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 灾燥造援远摇 晕燥援员 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 圆园员猿年圆月摇 悦澡蚤灶藻泽藻韵责贼蚤糟泽摇 摇 云藻遭援圆园员猿 文章编号摇 员远苑源鄄圆怨员缘渊圆园员猿冤园员鄄园园愿愿鄄园愿 子孔径拼接检测非球面时调整误差的补偿 王孝坤 渊中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 光学系统先进制造技术中国科学院重点实验室袁吉林长春员猿园园猿猿冤 摘要院针对在子孔径拼接测量非球面的过程中干涉仪与待测非球面相对位置存在的对准误差袁提出了一种基于模式搜索 迭代算法的调整误差补偿方法遥 该方法可以很好地从测量的子孔径相位数据中消除由拼接测量位置没有对准带来的调 整误差袁实现多个子孔径的精确拼接遥 对该方法的基本原理和实现步骤进行了分析和研究袁建立了子孔径拼接测量的调 整误差补偿模型遥 对口径为圆猿园皂皂伊员源员皂皂 的离轴碳化硅非球面反射镜进行了调整误差补偿和相位数据拼接袁得到 了精确的全口径面形分布遥 作为验证袁对待测非球面进行了零位补偿检测袁结果显示两种测试方法的面形孕灾值和砸酝杂 值的相对偏差仅为园郾缘苑豫和圆郾苑源豫遥 关摇 键摇 词院子孔径拼接干涉术曰非球面曰调整误差曰模式搜索算法曰非共路误差 中图分类号院栽匝员苑员援远缘曰韵源猿远援员摇 摇 文献标识码院粤摇 摇 凿燥蚤院员园援猿苑愿愿辕悦韵援圆园员猿园远园员援园园愿愿 悦燥皂责藻灶泽葬贼蚤燥灶燥枣皂蚤泽葬造蚤早灶皂藻灶贼藻则则燥则燥灶贼藻泽贼蚤灶早葬泽责澡藻则蚤糟 泽怎则枣葬糟藻遭赠泽怎遭葬责藻则贼怎则藻泽贼蚤贼糟澡蚤灶早蚤灶贼藻则枣藻则燥皂藻贼则赠 宰粤晕郧载蚤葬燥鄄噪怎灶 渊运藻赠蕴葬遭燥则葬贼燥则赠燥枣韵责贼蚤糟葬造杂赠泽贼藻皂粤凿增葬灶糟藻凿酝葬灶怎枣葬糟贼怎则蚤灶早栽藻糟澡灶燥造燥早赠袁悦澡葬灶早糟澡怎灶陨灶泽贼蚤贼怎贼藻燥枣 韵责贼蚤糟泽袁云蚤灶藻酝藻糟澡葬灶蚤糟泽葬灶凿孕澡赠泽蚤糟泽袁悦澡蚤灶藻泽藻粤糟葬凿藻皂赠燥枣杂糟蚤藻灶糟藻泽袁悦澡葬灶早糟澡怎灶 员猿园园猿猿袁悦澡蚤灶葬冤 鄢悦燥则则藻泽责燥灶凿蚤灶早葬怎贼澡燥则袁耘鄄皂葬蚤造院躁蚤皂憎曾噪岳泽燥澡怎援糟燥皂 粤遭泽贼则葬糟贼院云燥则贼澡藻责怎则责燥泽藻贼燥凿藻糟则藻葬泽藻贼澡藻皂蚤泽葬造蚤早灶皂藻灶贼藻则则燥则枣则燥皂葬贼藻泽贼蚤灶早葬泽责澡藻则蚤糟泽怎则枣葬糟藻遭赠杂怎遭葬责藻则贼怎则藻 杂贼蚤贼糟澡蚤灶早陨灶贼藻则枣藻则燥皂藻贼则赠渊杂杂陨冤袁葬贼则葬灶泽造葬贼藻凿藻则则燥则糟燥皂责藻灶泽葬贼蚤燥灶皂藻贼澡燥凿 蚤泽责则燥责燥泽藻凿贼燥泽怎遭贼则葬糟贼贼澡藻皂蚤泽葬造蚤早灶皂藻灶贼 藻则则燥则枣则燥皂藻葬糟澡责澡葬泽藻凿藻贼怎皂葬灶凿贼燥泽贼蚤贼糟澡皂怎造贼蚤鄄泽怎遭葬责藻则贼怎则藻泽责则藻糟蚤泽藻造赠援 栽澡藻遭葬泽蚤糟责则蚤灶糟蚤责造藻葬灶凿责则燥糟藻泽泽燥枣贼澡藻 皂藻贼澡燥凿葬则藻则藻泽藻葬则糟澡藻凿袁葬灶凿葬糟燥皂责藻灶泽葬贼蚤燥灶皂燥凿藻蚤泽藻泽贼葬遭造蚤泽澡藻凿遭葬泽藻凿燥灶贼澡藻 皂燥凿藻泽藻葬则糟澡葬造早燥则蚤贼澡皂援 栽澡藻藻曾鄄 责藻则蚤皂藻灶贼蚤泽糟葬则则蚤藻凿燥灶枣燥则葬灶燥枣枣鄄葬曾蚤泽杂蚤悦葬泽责澡藻则蚤糟皂蚤则则燥则憎蚤贼澡葬糟造藻葬则葬责藻则贼怎则藻燥枣圆猿园皂皂伊员源员皂皂袁贼澡藻责澡葬泽藻 凿葬贼葬燥枣贼澡藻憎澡燥造藻葬责藻则贼怎则藻葬则藻泽贼蚤贼糟澡藻凿责则藻糟蚤泽藻造赠葬灶凿贼澡藻枣蚤早怎则藻藻则则燥则蚤泽糟燥皂责藻灶泽葬贼藻凿遭赠藻造蚤皂蚤灶葬贼蚤灶早贼澡藻皂蚤泽鄄 葬造蚤早灶皂藻灶贼藻则则燥则援 云燥则贼澡藻糟燥皂责葬则蚤泽燥灶葬灶凿增葬造蚤凿葬贼蚤燥灶袁贼澡藻葬泽责澡藻则藻皂蚤则则燥则蚤泽 葬造泽燥贼藻泽贼藻凿遭赠灶怎造造糟燥皂责藻灶泽葬贼蚤燥灶 皂藻贼澡燥凿袁葬灶凿贼澡藻