奈米的创新挑战.pdf

yield management ymssolutions /ymsmagazine | 年夏季刊 第 期 2007 2 文章主題 缺陷管理 度量 晶圓廠經濟情況 光罩 資料儲存 產品新聞 45 奈米的創新挑戰 本期的YMS 雜誌介紹一系列有關 45 nm 檢測與度量的文章 ，從最新的 光罩檢測技術到包含特殊化度量晶圓的應用的獨特情況。