毕业论文范文——基于柔性衬底的转移印刷技术及其应用.docx

毕业论文 基于柔性衬底的转移印刷技术及其应用 摘要：在微纳米制造技术的飞速发展的背景下，传统的微纳加工技术渐渐不再能满足微纳电子器件制造的需要。本文综述一种基于柔性衬底的微纳图形复制技术，对其原理、特点、工艺流程的讨论和分析，最后讨论了该技术在其他领域的应用和发展前景。 关键字：转移印刷技术；PDMS；柔性衬底 引言 如今，随着晶体管的尺寸不断缩小，集成电路的集成度不断提高，特征尺寸已到了几个纳米的尺度，纳米技术的发展不仅带来了器件物理上的难题，同时掀起了器件制造工艺上的新技术浪潮。对于微纳加工技术来说，光刻是最关键的技术，但是发展至今光刻技术依然存在成本昂贵、加工工艺条件苛刻、工艺复杂等缺